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一种用于扫描电镜的双面温控台 

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申请/专利权人:锦文测控科技(苏州)有限公司

摘要:本发明公开了一种用于扫描电镜的双面温控台,属于扫描电镜设备技术领域,其包括:安装座;固定冷热模块,固定安装于所述安装座内;移动冷热模块,滑动安装于所述安装座内,所述固定冷热模块和移动冷热模块的外侧均设置有制冷机构和制热机构;调节机构,用于调节移动冷热模块的位置,调节机构包括螺纹套筒、夹具和丝杆,所述丝杆的螺纹连接在所述螺纹套筒内,所述螺纹套筒固定连接在所述夹具的外侧,且所述夹具固定安装在所述移动冷热模块的外侧。本发明通过固定冷热模块、移动冷热模块的配合能够同时对样品的两面进行加热和制冷,提升调温速度和均匀性,并且可对移动冷热模块和固定冷热模块的间距进行调节,从而能够适应不同厚度的样品使用。

主权项:1.一种用于扫描电镜的双面温控台,其特征在于,包括:安装座3;固定冷热模块1,固定安装于所述安装座3内;移动冷热模块2,滑动安装于所述安装座3内,所述固定冷热模块1和移动冷热模块2的外侧均设置有制冷机构和制热机构;调节机构,用于调节移动冷热模块2的位置,所述调节机构包括螺纹套筒7、夹具6和丝杆8,所述丝杆8的螺纹连接在所述螺纹套筒7内,所述螺纹套筒7固定连接在所述夹具6的外侧,且所述夹具6固定安装在所述移动冷热模块2的外侧。

全文数据:

权利要求:

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