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申请/专利权人：艾尔默斯半导体欧洲股份公司

摘要：本发明涉及用于针对LIDAR应用发射激光脉冲的具有VCSEL激光器阵列裸片VCSELA的光模块，其中，采用了特殊的结构和连接技术，因此寄生电感很低，从而实现了高开关速度。为此，VCSEL激光器阵列裸片VCSELA和电容器阵列CAP以堆叠裸片布置的方式安装在载体上。

主权项：1.一种用于发射电磁辐射的模块，特别是激光器模块，所述模块包括：-VCSEL激光器阵列裸片VCSELA，其具有多个条带形且相互平行的VCSEL激光器L1至Ln，每个所述VCSEL激光器L1至Ln具有以一排或多个平行排布置的VCSEL激光二极管，每个所述VCSEL激光二极管具有阳极和阴极，-其中，每个所述VCSEL激光器L1至Ln在沿其条带的纵向范围的两个条带端部处具有第一激光器触点区域LA1至LAn和第二激光器触点区域RA1至RAn，相关VCSEL激光器L1至Ln的所有VCSEL激光二极管的阳极都电气连接到所述第一激光器触点区域LA1至LAn和所述第二激光器触点区域RA1至RAn；-电容器阵列CAP，其具有电隔离的基板SUB，由第一电容器触点区域LCA1至LCAn和第二电容器触点区域RCA1至RCAn构成的彼此平行的序列位于所述基板SUB的顶侧上，-其中，所述电容器阵列CAP具有由电容器C1至Cn组成的2D布置结构，每个所述电容器作为储能器与所述VCSEL激光器L1至Ln关联，-其中，所述电容器阵列CAP的所述电容器C1至Cn具有上侧电容器电极te和所有电容器C1至Cn共有的下侧电容器电极be，所述上侧电容器电极te全部以2D布置结构形成在所述基板SUB内，所述下侧电容器电极be与所述上侧电容器电极te间隔开，-其中，所述电容器阵列CAP的一行或一列电容器C1至Cn的每个上侧电容器电极te经由连接线ICL电气连接到所述第一电容器触点区域LCA1至LCAn和所述第二电容器触点区域RCA1至RCAn，所述连接线ICL形成在所述基板SUB中，彼此平行地布置，并且在所述上侧电容器电极te的上方延伸，-其中，每条连接线ICL通过形成在所述电容器阵列CAP的所述基板SUB内的通孔互连部DK连接到相关电容器C1至Cn的上侧电容器电极te，并且通过形成在所述电容器阵列CAP的所述基板SUB内的另外两个通孔互连部DK分别连接到相关第一电容器触点区域LCA1至LCAn和相关第二电容器触点区域RCA1至RAn，并且-其中，在所述条带形VCSEL激光器L1至Ln的延伸范围内，所述VCSEL激光器阵列裸片VCSELA的所述VCSEL激光器L1至Ln的所述第一激光器触点区域LA1至LAn与所述电容器阵列CAP的所述第一电容器触点区域LAC1至LACn以及所述VCSEL激光器阵列裸片VCSELA的所述VCSEL激光器L1至Ln的所述第二激光器触点区域RA1至RAn与所述电容器阵列CAP的所述第二电容器触点区域RAC1至RACn分别相互对齐并彼此相邻，并且各自具有相同的中心距，必要时还在其各自序列方向上具有相同的尺寸；以及-长度基本上相同的接合线，每条所述接合线将所述VCSEL激光器阵列裸片VCSELA的所述VCSEL激光器L1至Ln的所述第一激光器触点区域LA1至LAn中的一者电气连接到所述电容器阵列CAP的各自相邻的第一电容器触点区域LAC1至LACn，以及将所述VCSEL激光器阵列裸片VCSELA的所述VCSEL激光器L1至Ln的所述第二激光器触点区域RA1至RAn中的一者电气连接到所述电容器阵列CAP的各自相邻的第二电容器触点区域RAC1至RACn。

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权利要求：

百度查询： 艾尔默斯半导体欧洲股份公司 用于发射电磁辐射的特别是激光器模块的模块