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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容的实施方式总体涉及一种遮蔽框架，所述遮蔽框架包括相邻于两个相对的次侧面框架构件的两个相对的主侧面框架构件，用角支架将所述主侧面框架构件与所述次侧面框架构件耦接在一起，其中所述角支架包括具有多个支腿的角镶嵌件，这些支腿在彼此大致上正交的方向延伸。
主权项：1.一种遮蔽框架，包括：两个相对的主侧面框架构件，所述两个相对的主侧面框架构件相邻于两个相对的次侧面框架构件，在包括凹陷区域的耦接界面处用角支架将所述主侧面框架构件与所述次侧面框架构件耦接在一起，其中：每个角支架包括圆角和角镶嵌件，所述角镶嵌件具有多个支腿，所述支腿沿着彼此大致上正交的方向延伸；所述角镶嵌件包括平坦上表面和倾斜平坦表面，所述倾斜平坦表面与所述平坦上表面的平面成角度；和凹口，形成在所述凹陷区域中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 带有具有变化轮廓的侧边以实现改善的沉积均匀性的遮蔽框架
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