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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆传输技术领域，具体涉及一种针对超薄晶圆片的吸取手指，包括真空手指主体，真空手指主体呈Y形，真空手指主体后侧表面设置有真空吸附组件，真空手指主体前侧表面内嵌固定有正压手指主体，正压手指主体呈Y形，正压手指主体与真空手指主体之间形成有取片空间，正压手指主体上设置有正压吹气组件，本实用新型的有益效果是：可方便插入到料盒内，使盒内翘曲呈碗状的超薄晶圆片的两端进入到取片空间内，然后通过正压吹气组件吹气，使超薄晶圆片的两端向着真空吸附组件吸附面处移动变形，从而使超薄晶圆片的两端更好的贴附在真空吸附组件的吸附面上，有效避免出现真空泄漏的问题，保证超薄晶圆片吸取牢靠，便于晶圆的转运。
主权项：1.一种针对超薄晶圆片的吸取手指，包括真空手指主体1，真空手指主体1呈Y形，真空手指主体1后侧表面设置有真空吸附组件，其特征在于：所述真空手指主体1前侧表面内嵌固定有正压手指主体7，所述正压手指主体7呈Y形，所述正压手指主体7与真空手指主体1之间形成有取片空间8，所述正压手指主体7上设置有正压吹气组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种针对超薄晶圆片的吸取手指
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