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申请/专利权人：台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种光束校准调整组件、装置和光刻设备，该光束校准调整组件包括框架件、光学元件、光接收部件和分析部件，框架件包括管路主体结构及管路分支结构，管路主体结构与光束转向装置的出光口相连，管路主体结构内部设置有反射镜，管路主体结构的轴线与管路分支结构的轴线相交于反射镜的中心点。本申请通过光束转向装置的光路下游设置光束校准调整组件，反射镜能够将光束转向装置射出的初始光束分成两组，两组光束经光学元件的过滤和聚焦处理后能够分别成像于两组光接收部件，两组光接收部件能够将获取的图像信息发送至处理器，处理器通过内置算法能够确定需要调整的电机步长，从而可快速精准地完成光束转向装置的校准调整。
主权项：1.一种光束校准调整组件，其特征在于，包括：框架件1，包括相交连接且相互连通的管路主体结构11及管路分支结构12，所述管路主体结构11与光束转向装置2的出光口相连，所述框架件1的第一端口A位于所述管路主体结构11，第二端口B位于所述管路分支结构12远离所述管路主体结构11的一端，所述管路主体结构11内部设置有反射镜13，所述管路主体结构11的轴线与所述管路分支结构12的轴线相交于所述反射镜13的中心点；光学元件3，设置于所述第一端口A和所述第二端口B，且包括沿光束传播方向依次排列的闪烁体31和聚焦件32；光接收部件4，设置于所述光学元件3背向所述反射镜13的一侧，能够与所述聚焦件32匹配成像；和分析部件，包括与所述光接收部件4电连接的处理器，所述处理器适于接收所述光接收部件4监测的图像信息并确定所述图像信息在预定义坐标系的成像位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台积电(中国)有限公司 台湾积体电路制造股份有限公司 光束校准调整组件、装置和光刻设备
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