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申请/专利权人：南京森林警察学院
摘要：本发明属于测试计量技术领域，尤其是一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置及方法，包括上位机、电源模块、运动控制器、光学探头、测环、精密位移测量探头、电动平移台、支架，支架上具有纵向导轨和精密位移测量探头，电动平移台安装于纵向导轨上，光学探头固定于电动平移台外侧，精密位移测量探头位于电动平移台上方接触式测量电动平移台的高度，测环固定于光学探头上方，待测光学元件置于测环内。本发明通过引入螺旋相位制作了光学探头，调制光束使光斑与表面位置有关，批量测量时无需调节探头位置直接可进行非接触测量，与现有接触式测量仪器相比，本方法对表面损伤较小且批量测量时效率更高，有望在光学加工企业广泛应用。
主权项：1.一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置，其特征在于：包括上位机1、电源模块2、运动控制器3、光学探头4、测环5、精密位移测量探头7、电动平移台8、支架9，所述支架9为立式的，支架9上具有纵向导轨，所述电动平移台8安装于纵向导轨上，所述光学探头4固定于电动平移台8外侧，所述精密位移测量探头7也安装在支架9上，精密位移测量探头7位于电动平移台8上方接触式测量电动平移台8的高度，所述测环5固定于光学探头4上方的拍摄区域，待测光学元件6置于测环5内，所述运动控制器3分别线路连接上位机1、光学探头4、精密位移测量探头7、电动平移台8；所述上位机1、运动控制器3、光学探头4、精密位移测量探头7、电动平移台8均由电源模块2供电；所述光学探头4包括激光器41、显微物镜42、半透半反镜43、螺旋相位板44、CMOS成像模块45，所述显微物镜42、半透半反镜43、螺旋相位板44、CMOS成像模块45从上至下依次布置，所述半透半反镜43呈45°固定，所述激光器41位于半透半反镜43一侧，激光器41照射在半透半反镜43上；所述精密位移测量探头7的测量范围大于20mm，分辨率达1μm以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京森林警察学院 一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置及方法
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