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申请/专利权人：青岛优百宇真空设备股份有限公司
摘要：本申请涉及钢铁制造技术领域，公开了一种DLC涂层加工设备，为了解决不易提供真空环境的问题，通过设置有多组小机械直连泵组和大机械直连泵组，从而在控制系统的布控下，可以在极短的时间内沉积DLC膜层，以此自动完成抽真空镀膜，并且，通过转架车能够将工件自动的进出炉，加快了工件的镀膜效率，实现了多组泵体组合抽真空和自动进出炉的效果。
主权项：1.一种DLC涂层加工设备，其特征在于，包括：镀膜炉（1），提供工件镀膜所需的环境，一侧设置的转架车（3）带动炉门（2）移动，实现工件的自动化进出；小机械直连泵组（8），设置在镀膜炉（1）的一侧，小机械直连泵组（8）经过高压管（13）和小罗茨泵（5）连接，且小罗茨泵（5）和小机械直连泵组（8）之间设置有维持阀（6）；分子泵（12），通过高压管（13）和小罗茨泵（5）连通，分子泵（12）接入至镀膜炉（1）的内部，且分子泵（12）和小机械直连泵组（8）之间连接有高阀（7）；大机械直连泵组（9），设置在镀膜炉（1）的一侧，大机械直连泵组（9）通过高压管（13）和大罗茨泵（4）连通，且大机械直连泵组（9）和大罗茨泵（4）之间设置有截止阀（10）；大罗茨泵（4）经高压管（13）与镀膜炉（1）连通，且大罗茨泵（4）和镀膜炉（1）之间设置有VⅠ阀（11）；高压管（13）由管件Ⅰ（130）和管件Ⅱ（131）组成；管件Ⅰ（130）套装在管件Ⅱ（131）的端部，且管件Ⅰ（130）和管件Ⅱ（131）端部之间设置有密封件Ⅰ（20），管件Ⅰ（130）的外侧和管件Ⅱ（131）的内侧设置有密封件Ⅱ（18）；管件Ⅱ（131）的外侧螺纹连接有紧固螺栓（14）；管件Ⅰ（130）的外侧、管件Ⅱ（131）的内侧和密封件Ⅱ（18）的端部之间构成有检测腔（21），且管件Ⅱ（131）的外侧套装有旋转套环（15），旋转套环（15）的内部与检测腔（21）之间通过管件Ⅱ（131）上开设的输液道（19）相通；旋转套环（15）的外侧固定安装有透气小孔管（22）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛优百宇真空设备股份有限公司 一种DLC涂层加工设备
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