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申请/专利权人：青岛华芯晶电科技有限公司;青岛立昂晶电半导体科技有限公司
摘要：本申请涉及反应炉控制技术领域，尤其涉及基于反应炉的气流扰动优化控制方法及系统，该方法的步骤包括：获取反应炉内的温度数据和反应炉容积数据，获取反应炉中石英反应管内的真空度数据，获取反应炉内的惰性气体控制参数；通过温度数据计算反应炉内的温度均匀系数；通过真空度数据计算石英反应管内的真空度波动系数；通过温度均匀系数和真空度波动系数计算反应炉内的气流扰动指数，并通过气流扰动指数结合反应炉容积数据调节惰性气体控制参数。本申请通过对反应炉内的气流扰动程度进行量化并针对性地调节惰性气体控制参数，提升了磷化铟材料的制备质量和效率。
主权项：1.基于反应炉的气流扰动优化控制方法，其特征在于，包括下述步骤：获取反应炉内的温度数据和反应炉容积数据，获取反应炉中石英反应管内的真空度数据，获取反应炉内的惰性气体控制参数；通过温度数据计算反应炉内的温度均匀系数；通过真空度数据计算石英反应管内的真空度波动系数；通过温度均匀系数和真空度波动系数计算反应炉内的气流扰动指数，并通过气流扰动指数结合反应炉容积数据调节惰性气体控制参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛华芯晶电科技有限公司 青岛立昂晶电半导体科技有限公司 基于反应炉的气流扰动优化控制方法及系统
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