Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置与方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:山东大学

摘要:本发明属于晶体生长及装置领域,具体涉及氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置与方法。氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置,包括炉体、加热系统、支撑系统和升降系统,所述炉体包括炉门、炉壳、炉顶和炉底,所述加热系统设置于炉体内部,所述加热系统包括主加热器、辅助加热器和隔热支撑板,所述辅助加热器设置于隔热支撑板上,所述升降系统贯穿炉顶伸入炉体内部与所述主加热器相连,所述支撑系统包括贯穿炉底伸入炉体内部且内部通有冷却水的水冷支撑座和与水冷支撑座相连的坩埚支架,所述坩埚支架上设置坩埚。通过移动温区而非坩埚,防止因坩埚位移震动导致的氧化镓晶体极易出现位错、孪晶等缺陷,从而生长高质量的氧化镓晶体。

主权项:1.一种氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置,其特征在于,包括炉体、加热系统、支撑系统和升降系统,所述炉体包括炉门、炉壳、炉顶和炉底,所述加热系统设置于炉体内部,所述加热系统包括主加热器、辅助加热器和隔热支撑板,所述辅助加热器设置于隔热支撑板上,所述升降系统贯穿炉顶伸入炉体内部并设置升降杆与所述主加热器相连,所述支撑系统包括贯穿炉底伸入炉体内部且内部通有冷却水的水冷支撑座和与水冷支撑座相连的坩埚支架,所述坩埚支架上设置坩埚。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 山东大学 氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置与方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。