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申请/专利权人:湘潭宏大真空技术股份有限公司
摘要:本发明涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种用于AF膜的蒸发镀膜装置,包括安装架,安装架一侧安装有多组间隔布置的AF液蒸发机构,安装架另一侧安装有与AF液蒸发机构数量匹配的挤液机构,安装架在该侧还安装有储液装置,储液装置的出液端与各挤液机构的进液端连接,各挤液机构的出液端与对应的AF液蒸发机构连接。具有提高生产效率、加药定量精准、降低成本的优点。
主权项:1.一种用于AF膜的蒸发镀膜装置,其特征在于:包括安装架(1),所述安装架(1)一侧安装有多组间隔布置的AF液蒸发机构(2),所述安装架(1)另一侧安装有与AF液蒸发机构(2)数量匹配的挤液机构(3),安装架(1)在该侧还安装有储液装置(4),所述储液装置(4)的出液端与各挤液机构(3)的进液端连接,各挤液机构(3)的出液端与对应的AF液蒸发机构(2)连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湘潭宏大真空技术股份有限公司 一种用于AF膜的蒸发镀膜装置
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