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弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台及其驱动方法 

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申请/专利权人:中国计量大学

摘要:本发明公开了一种弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台及其驱动方法,首先,将原方案中的内滑块、平台滑块和压电体的刚性紧密装配的模式,改为弹性紧密装配的模式;其次,将三压电体驱动改动为两个压电体驱动和一个弹簧体预紧相结合,并配合新的步进驱动控制方法;即使环境温度发生较大变化时也始终处于紧密装配状态,对环境温度变化适应性强;而且,压电体始终处于稳恒预紧力状态,减小了位移台步进过程中压电体在伸长和缩短相互转变的临界点附近输出力和输出位移不连续的影响,极大减小位移步进的非线性,新位移台即使在开环条件下也能保持步长均匀、速度稳定;此外,该纳米位移台的步进速度与驱动信号有良好的线性关系。

主权项:1.一种弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台,其特征在于,包括第一平板(1)、第一内滑块(2-1)、第二内滑块(2-2)、第一压电体(3-1)、第二压电体(3-2)、弹簧体(4)、导轨(5)、辅助预紧弹簧(6)和第二平板(7);所述导轨(5)固定在第二平板(7)上,所述第一平板(1)为一中空的封闭或半封闭的框架结构,所述第一平板(1)、第一内滑块(2-1)和第二内滑块(2-2)放置在导轨(5)上,所述第一内滑块(2-1)与第一平板(1)前内壁之间设有第一压电体(3-1),所述第一内滑块(2-1)和第二内滑块(2-2)之间设有弹簧体(4),所述第二内滑块(2-2)与第一平板(1)后内壁之间设有第二压电体(3-2);所述弹簧体(4)产生预紧形变,使第一内滑块(2-1)、第二内滑块(2-2)、第一压电体(3-1)、第二压电体(3-2)和第一平板(1)在沿导轨(5)方向处于稳恒预紧力的作用;所述第一平板(1)与导轨(5)之间设置有辅助预紧弹簧(6),第一内滑块(2-1)与导轨(5)之间设置有辅助预紧弹簧(6),第二内滑块(2-2)与导轨(5)之间设置有辅助预紧弹簧(6),通过辅助预紧弹簧(6)来确保第一平板(1)、第一内滑块(2-1)和第二内滑块(2-2)均与导轨(5)之间具有合适的最大静摩擦力。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国计量大学 弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台及其驱动方法

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