龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：瑶光半导体(浙江)有限公司
摘要：本发明公开了一种晶片传送系统及方法，涉及半导体制造领域。该系统包括：反应腔室，处理腔室，所述处理腔室包括装卸腔室、晶片承载装置存储腔室、晶片存储腔室，其中所述晶片承载装置存储腔室设有至少两个，且每个所述晶片承载装置用于存储多个晶片承载装置，所述晶片承载装置存储腔室还用于冷却所述晶片承载装置，所述晶片存储腔室至少设有两个，且每个所述晶片存储腔室用于存储多片所述晶片，所述晶片存储腔室还用于冷却所述晶片，传输腔室，内设有第一搬运装置，通过所述第一搬运装置可使得所述晶片和或所述晶片承载装置在各腔室移动。该系统通过晶片集中冷却以及上下料同步进行大幅节约了处理时间，提高了生产效率。
主权项：1.一种晶片传送系统，其特征在于，包括：反应腔室，用于对所述晶片进行金属有机物化学气相沉积处理；处理腔室，所述处理腔室包括装卸腔室、晶片承载装置存储腔室、晶片存储腔室，其中所述晶片承载装置存储腔室设有至少两个，且每个所述晶片承载装置存储腔室用于存储多个晶片承载装置，所述晶片承载装置存储腔室还用于冷却所述晶片承载装置，所述晶片存储腔室至少设有两个，且每个所述晶片存储腔室用于存储多片所述晶片，所述晶片存储腔室还用于冷却所述晶片，所述装卸腔室用于组合和或分离所述晶片和所述晶片承载装置；传输腔室，内设有第一搬运装置，通过所述第一搬运装置可使得所述晶片和或所述晶片承载装置在所述反应腔室和所述处理腔室之间移动，和或在所述处理腔室内部移动；所述晶片存储腔室包括第一晶片存储腔室和第二晶片存储腔室，所述晶片承载装置存储腔室包括第一晶片承载装置存储腔室和第二晶片承载装置存储腔室；在所述晶片存储腔室对所述晶片冷却的同时，所述晶片承载装置存储腔室执行冷却所述晶片承载装置的功能，当所述第一晶片存储腔室和所述第一晶片承载装置存储腔室均在冷却时，通过所述第一搬运装置将所述第二晶片承载装置存储腔室内的晶片承载装置放入所述装卸腔室，再通过所述第一搬运装置将第二晶片存储腔室内的晶片搬运到所述装卸腔室，在所述装卸腔室内完成所述晶片与所述晶片承载装置的组合，再将所述晶片与所述晶片承载装置的组合一起搬送到所述反应腔室。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑶光半导体(浙江)有限公司 一种晶片传送系统及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号