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申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要：本发明涉及一种微波谐振腔，包括：圆柱形腔室，包括嵌套的多个圆柱形腔体，用于容纳气态等离子体，所述多个圆柱形腔体具有不同尺寸；耦合天线，位于所述圆柱形腔室内部；微波窗口，用于透射微波；位于所述圆柱形腔体的腔体壁上的抽气孔，用于通过外部真空系统实现腔体内部的真空；位于腔体内部的样品台，用于放置材料，所述样品台与冷却通道移动连接；内嵌在腔体壁中的冷却通道，用于对所述微波谐振腔进行冷却。微波谐振腔的结构合理，能够保证在较宽的工艺范围内实现微波能量的高效耦合，从而制备高品质金刚石单晶材料。
主权项：1.一种微波谐振腔，其特征在于，包括：圆柱形腔室1，包括嵌套的多个圆柱形腔体，用于容纳气态等离子体，所述多个圆柱形腔体具有不同尺寸；耦合天线2，位于所述圆柱形腔室1内部；微波窗口3，用于透射微波；位于所述圆柱形腔室1的腔体壁上的抽气孔，用于通过外部真空系统实现腔体内部的真空；位于腔体内部的样品台4，用于放置材料，所述样品台4与冷却通道5移动连接；内嵌在腔体壁中的冷却通道5，用于对所述微波谐振腔进行冷却；微波传输系统；所述微波传输系统包括导体62和环形耦合器61；所述导体62与圆柱形腔室1同轴设置，其穿过冷却通道5，并伸出圆柱形腔室1，与环形耦合器61连接；所述环形耦合器61与其中一个圆柱形腔体同轴连接；耦合天线2与环形耦合器61连接；固态微波源8，位于冷却通道5远离样品台4一端，并与所述导体62连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 一种微波谐振腔
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