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申请/专利权人：北方民族大学

摘要：本发明提供了一种带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法，该位移传感器，包括激光束，入射至三角波反射镜的反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二；处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明带有折射镜的差分式位移传感器，通过折射镜一与折射镜二的设置，降低激光入射至光电探测器的角度，从而可以提高位移传感器的测量精度。

主权项：1.一种带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括若干个反射面；激光束，入射至三角波反射镜的反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一并发生折射，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二并发生折射；光电探测器一，用于接收经折射镜一折射的激光束，并测量其入射位置；光电探测器二，用于接收经折射镜二折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值；所述折射镜一与光电探测器一贴合，所述折射镜二与光电探测器二贴合；所述折射镜一的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行；所述折射镜二的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。

全文数据：带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法技术领域本发明涉及测量技术领域，特别涉及一种带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法。背景技术基于光学三角放大法的位移测量新原理，是在光学三角放大法的基础上，结合三角波光学器件与高精度PSDPositionSeitiveDevice，位置灵敏敏感探测器实现的。三角波光学器件将线性位移等间隔细分，降低光学器件加工精度与尺寸要求的同时，降低高精度PSD的尺寸要求，在小范围内实现高精度位移测量。然而现有技术中的位移传感器，例如，申请号为201810481648.3，名称为《差分式位移传感器及其测量方法》中提供的位移传感器，位移测量原理与结构如图1所示，由图1可知，在读数头与三角波光学反射部件发生相对位移后，经过光学三角放大，水平小位移在光电探测器PSD上进行放大，可以将长度测量的精度大大提升。然而其位移传感器的测量放大倍数与PSD入射角有关，传感器的放大倍数容易受到影响，即为当入射于PSD的激光束的入射角增大时，PSD本身的测量精度会下降。发明内容本发明的目的在于提供一种提高位移测量精度的带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法。为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：一种带有折射镜的差分式位移传感器，包括：三角波反射镜，包括若干个反射面；激光束，入射至三角波反射镜的一个反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一并发生折射，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二并发生折射；光电探测器一，用于接收经折射镜一折射的激光束，并测量其入射位置；光电探测器二，用于接收经折射镜二折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。进一步优化的方案中，光电探测器一与光电探测器二和分光镜组之间的设置位置满足关系：经分光镜组后分别入射至光电探测器一与光电探测器二的入射角相同。例如，分光镜和反光镜呈90度夹角设置，且光电探测器一与光电探测器二平行设置。如此设置，可以使得当三角波反射镜的反射面的角度发生变化时，保障光电探测器一与光电探测器二分别缩小和放大的倍数一致，简化运算过程。进一步优化的方案中，所述折射镜一与光电探测器一贴合，所述折射镜二与光电探测器二贴合。进一步优化的方案中，所述激光束为P偏振光。进一步优化的方案中，所述折射镜一的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行；所述折射镜二的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行进一步优化的方案中，还包括壳体，激光束由激光源发射得到，激光源、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二均固定设置于壳体内，组成读数头。进一步优化的方案中，所述读数头为至少两个，且所述至少两个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器一与光电探测器二上的入射位置变化量。另一方面，本发明实施例同时提供了一种应用上述带有折射镜的差分式位移传感器进行位移测量的方法，包括以下步骤：将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上；调整激光束、三角波反射镜、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，经折射镜一折射后入射至光电探测器一；另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二，经折射镜二折射后入射至光电探测器二；发射激光束，所述激光束经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组，经分光镜组反射后且经折射镜一折射后被光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置，经分光镜组透射后且经折射镜二折射后被光电探测器二检测到该透射激光束的初始位置；被测物体位移，在位移过程中，光电探测器一与光电探测器二分别检测到激光束的位置的变化，直到被测物体停止位移；处理系统通过对光电探测器一与光电探测器二检测到的位置变化进行处理，获得被测物体的位移值。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：本发明带有折射镜的差分式位移传感器，通过多个读数头的设置，在测量过程中，若某个读数头不能读取到激光束的位置变化量时，切换至另一个读数头进行测量，因此可以保障在位移过程中都能实现有效测量，实现连续位移测量。通过折射镜一与折射镜二的设置，使得增加位移传感器放大倍数的同时，降低激光入射至光电探测器的角度，因此位移传感器可以在提高放大倍数的同时保证光电探测器的测量稳定性，换言之可以提高位移传感器的测量精度。通过所述折射镜一的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行；折射镜二的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。使得入射至折射镜的激光位置变化量与入射至光电探测器的激光位置变化量相同，从而简化了位移测量计算公式。通过采用偏振激光，增加了激光经过折射入射至光电探测器的强度，减小了折射镜反射入射光的比例，换言之可以降低光电探测器对激光入射强度的要求。通过所述折射镜与光电探测器贴合，避免折射镜折射后的激光束再次发生折射。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简要介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关附图。图1所示为现有技术中位移传感器的位移测量原理示意图。图2所示为实施例1提供的一种结构的带有折射镜的差分式位移传感器的测量原理示意图。图3所示为实施例1提供的另一种结构的带有折射镜的差分式位移传感器的测量原理示意图。图4所示为实施例1提供的又一种结构的带有折射镜的差分式位移传感器的测量原理示意图。图5所示为实施例2提供的一种结构的带有折射镜的差分式位移传感器的测量原理示意图。图中标号说明：激光源1，激光束2，三角波反射镜3，反射面31，分光镜组4，分光镜41，反光镜42，折射镜一5，折射镜二6，光电探测器一7，光电探测器二8，壳体9。具体实施方式下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚完整的描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。实施例1请参阅图2，本实施例中提供了一种带有折射镜的差分式位移传感器，包括激光源1，三角波反射镜3，分光镜组4，折射镜一5，折射镜二6，光电探测器一7，光电探测器二8。其中，激光源1用于发射出激光束2，并射向三角波反射镜3的一个反射面31；分光镜组4，包括分光镜41和反光镜42，且分光镜41和反光镜42垂直设置，三角波反射镜3的反射面反射的激光束2入射至分光镜41，一部分激光束2先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一5，另一部分激光束2经分光镜透射后入射至折射镜二6；光电探测器一7与光电探测器二8平行设置，且激光束2入射至光电探测器一7与光电探测器二8的入射角相同；光电探测器一7接收经折射镜一5折射的激光束，并测量其入射位置；光电探测器二8接收经折射镜二6折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一7与光电探测器二8接收到的激光束2的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。容易理解的，入射光线与光电探测器接收面的夹角过小时，入射光线的光斑会发生重心的偏移，对光电探测器的测量精度造成影响。通过折射镜一与折射镜二的设置，使得增加位移传感器放大倍数的同时，降低激光入射至光电探测器的角度，因此可以提高位移传感器的测量精度。且在本方案中，为了避免经折射镜折射后的激光束再次发生折射对测量精度造成影响，所述折射镜与光电探测器贴合。在进一步的方案中，所述折射镜一5的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。使得入射至折射镜一5的激光位置变化量与入射至光电探测器一7的激光位置变化量相同，从而简化了位移测量计算公式。在方案中，折射镜二6的入射面与出射面也均为平面，且入射面与出射面相互平行，使得入射至折射镜二6的激光位置变化量与入射至光电探测器二8的激光位置变化量相同，从而简化了位移测量计算公式。作为一种较优的实施方式，所述激光束2为P偏振光。通过采用偏振光，增加了激光经过折射入射至光电探测器的强度，降低了激光束以大入射角入射至折射镜时激光束的反射率，减小了折射镜反射入射光的比例，换言之可以降低光电探测器对激光入射强度的要求。如图2所示，位移前的激光束2用实线表示，位移后的激光束2用虚线表示，激光束2的传输路径如下：位移前，激光源1发射激光束2至三角波反射镜3的一个反射面31，三角波反射镜3的反射面31将激光束2反射至分光镜组4中的分光镜41，一部分激光束2先被分光镜41反射至反光镜42，再经反光镜42反射至折射镜一5，经折射镜一5折射后入射至光电探测器一7图中的PSD2，另一部分激光束2经分光镜透射后入射至折射镜二6，经折射镜二6折射后入射至光电探测器二8图中的PSD1，PSD1接收分光镜透射的激光束，并测量出入射位置，此时记为第一入射位置，PSD2接收反光镜反射的激光束，并测量出入射位置，此时记为第二入射位置。位移后图2中展示为向左位移，位移时激光源1、分光镜组4、折射镜一5、折射镜二6、光电探测器一7、光电探测器二8同步位移，激光源1发射激光束2至三角波反射镜3的同一个反射面31，三角波反射镜3的反射面将激光束2反射至分光镜组4中的分光镜41，一部分激光束2先被分光镜41反射至反光镜42，再经反光镜42反射至折射镜一5，经折射镜一5折射后入射至光电探测器一7图中的PSD2，另一部分激光束2经分光镜透射后入射至折射镜二6，经折射镜二6折射后入射至光电探测器二8图中的PSD1，PSD1接收分光镜透射的激光束，并测量出入射位置，此时记为第三入射位置，PSD2接收反光镜反射的激光束，并测量出入射位置，此时记为第四入射位置。由第一入射位置和第三入射位置可得出PSD1的位移变化量，由第二入射位置和第四入射位置可得出PSD2的位移变化量，取PSD1和PSD2的位移变化量的加权平均数作为带有折射镜的差分式位移传感器的位移变化量，再根据系统的放大倍数即可精确算出被测物体的位移量。本实施例中，通过光电探测器一7与光电探测器二8及分光镜组4的设置，当三角波反射镜的若干个反射面的角度存在加工误差时，即反射面的角度不同时，光电探测器一7如图2中的PSD2的放大倍数减小，而光电探测器二8如图2中的PSD1的放大倍数增加，综合结果即带有折射镜的差分式位移传感器的即可保持带有折射镜的差分式位移传感器整体的放大倍数不变，因此可以消除反射面的角度加工误差而影响放大倍数，换言之可以保障带有折射镜的差分式位移传感器的放大倍数不受三角波反射镜3加工工艺的影响。需要说明的是，本实施例中，基于方便运算及装配的考虑，将分光镜41和反光镜42呈90度夹角设置，且光电探测器一7与光电探测器二8平行设置。但是作为可实施方式，分光镜组也可以有其他设置，此时光电探测器一7与光电探测器二8不平行设置，例如图3所示，只要满足如下条件即可：分光镜41和反光镜42呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜41，一部分激光束2先被分光镜41反射至反光镜42，再经反光镜42反射至折射镜一5，经折射镜一5折射后入射至光电探测器一7，另一部分激光束2经分光镜41透射后入射至折射镜二6，经折射镜二6折射后入射至光电探测器二8。例如，分光镜和反光镜呈非90度夹角设置时，当三角波反射镜的反射面的角度发生变化，利用PSD1和PSD2分别测出的位移将会一个缩小相对于被测物体的位移量，依然是放大状态，即仅是放大倍数的缩小，一个增大，但是缩小与增大的倍数不同，例如PSD1的位移增大后的放大倍数为d1倍，PSD2的位移缩小后的放大倍数为d2倍，那么此时整个带有折射镜的差分式位移传感器的位移值即被测物体的位移值则为：另外需要说明的是，当分光镜和反光镜呈非90度夹角设置时，也可以通过设置PSD1和PSD2之间的位置关系，使得入射至PSD1和PSD2的激光束的入射角相同，进而实现当三角波反射镜的反射面的角度发生变化时，利用PSD1和PSD2分别测出的位移变化分别缩小和增大相同的倍数，如图3所示，以简化运算过程。还需要说明的是，图2-3中，三角波反射镜3的反射面31与水平面的夹角为30度，入射至三角波反射镜3的反射面31的激光束2的入射角为30度，所以三角波反射镜3的反射面31反射的激光束是竖直入射至折射镜一5，图2-3所示仅为一个示例，本实施例中对三角波反射镜3的反射面的角度没有限制，对激光束2入射至三角波反射镜3的反射面的入射角度也没有限制，例如图4所示。可以参阅图1，带有折射镜的差分式位移传感器还可以包括壳体9，激光源1，三角波反射镜3，分光镜组4，折射镜一5，折射镜二6，光电探测器一7，光电探测器二8均固定设置于壳体9内，组成读数头，激光源1发射的激光束2及其反射光束均可以通过读数头的收发端面。激光源1、分光镜组4、折射镜一5、折射镜二6、光电探测器7和光电探测器8均固定设置于壳体9内，可以保持相互之间的位置固定，也可以保障各部件之间保持同步位移。测量时，可以根据实际应用情况，采用将三角波反射镜3固定在被测物体上，读数头保持固定不动，被测物体发生位移时，三角波反射镜3与读数头发生相对运动，读数头可以测量得到三角波反射镜3即被测物体的位移值；或者，也可以采用将读数头固定在被测物体上，三角波反射镜3保持不动，被测物体发生位移带动读数头运动，读数头与三角波反射镜3发生相对位移，读数头可以测得读数头与三角波反射镜3之间的相对位移，进而得到被测物体的位移值；测量选择三角波反射镜3或者读数头来固定在被测物体上，提高了测量便利性。应用上述带有折射镜的差分式位移传感器进行位移测量时，其步骤如下：步骤一，将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上；步骤二，调整激光束、三角波反射镜、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，经折射镜一折射后入射至光电探测器一；另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二，经折射镜二折射后入射至光电探测器二；步骤三，发射激光束，所述激光束经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组，经分光镜组反射后且经折射镜一折射后被光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置，经分光镜组透射后且经折射镜二折射后被光电探测器二检测到该透射激光束的初始位置；步骤四，被测物体位移，在位移过程中，光电探测器一与光电探测器二分别检测到激光束的位置的变化，直到被测物体停止位移；步骤五，处理系统通过对光电探测器一与光电探测器二检测到的位置变化进行处理，获得被测物体的位移值。实施例2可以参阅图5，本实施例中的带有折射镜的差分式位移传感器与实施例2中所述的带有折射镜的差分式位移传感器相比，区别在于：本实施例中提供的带有折射镜的差分式位移传感器中，包括两个读数头，两个读数头结构一致，且成对称放置。本实施例中所述带有折射镜的差分式位移传感器可以实现连续位移测量。具体的，可以选用两个读数头中的一个来测量，当其中一个读数头内的激光束反射点位于反射面的某些位置，如反射面的顶端、两个反射面的交线位置等，对应光电探测器的长度又有限，因此可能无法反射到对应光电探测器，该光电探测器就无法计算出其位移值，另一个读数头的激光束反射点位于另一个反射面的其他位置，可反射到对应光电探测器并可以进行换算测量，能够实现被测物体移动的每一刻，三角波反射镜3上各反射面所反射的激光束中至少有一条可以反射到对应的光电探测器，此时处理系统可以来回切换计算不同读数头中光电探测器一与光电探测器二的激光束位置变化，进行叠加累计，以实现对被测物体位移变化的测量，其测量方法简单、可靠，操作方便，并且能够提高测量精度。两套测量系统可以均设置于一个壳体内组成一个读数头，也可以两套测量系统分别设置于一个壳体内，分别组成两个读数头。具体的，包括两个激光源、每个激光源对应配备有一套部件设施，所述部件设施内包括分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一与光电探测器二。两个激光源与两套部件设施均固定设置于一个壳体内，组成一个读数头。或者，激光源、与激光源相配套的部件设施，组成一个读数头，另一个激光源、另一套激光源相配套的部件设施均固定设置于另一个壳体内，组成另一个读数头。在本方案中，分光镜组可以是一体成型的构件，便于制造，及保障相互间的角度固定，此时分光镜和反光镜为同一种原材料制作，具有分光功能，为了增强反光镜的反光效果，可以在反光镜的反射面设置全反射膜；也可以是由分光镜与反光镜连接构成，由于反光镜只起反射作用，所以反光镜可以采用全反射镜。容易理解的，本实施例中，设置两个读数头的目的是避免其中一组光电探测器接收不到激光束时，可以通过另一组光电探测器接收激光束，实现位移测量，因此除了如图5所示的设置方式外，还可以有其他设置方式，只要读数头错开设置，使得两个激光束分别在第一反射面的初始入射点位置不同即可。例如第二个读数头内射出的激光束可以入射至处于激光束入射的第一反射面同侧的另一个第一反射面，也可以入射至处于激光束入射的第一反射面对侧的另一个第一反射面可参阅图5，还可以入射至激光束所入射的同一个反射面，但是入射点位置不同。应用本实施例中所述带有折射镜的差分式位移传感器进行位移测量时，其步骤如下：步骤一，将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上；步骤二，调整激光束、三角波反射镜、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，经折射镜一折射后入射至光电探测器一；另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二，经折射镜二折射后入射至光电探测器二；步骤三，发射激光束，所述激光束经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组，经分光镜组反射后且经折射镜一折射后被光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置，经分光镜组透射后且经折射镜二折射后被光电探测器二检测到该透射激光束的初始位置；步骤四，被测物体位移，在位移过程中，光电探测器检测激光束的入射位置的变化，直到被测物体停止位移；当该光电探测器无法接收到反射的激光束，则切换至另一个读数头重复上述操作过程；步骤五，处理系统通过对光电探测器一与光电探测器二检测到的位置变化进行处理，获得被测物体的位移值。以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员，在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应该涵盖在本发明的保护范围内。

权利要求：1.一种带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括若干个反射面；激光束，入射至三角波反射镜的反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一并发生折射，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二并发生折射；光电探测器一，用于接收经折射镜一折射的激光束，并测量其入射位置；光电探测器二，用于接收经折射镜二折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。2.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，光电探测器一与光电探测器二和分光镜组之间的设置位置满足关系：激光束经分光镜组后分别入射至光电探测器一与光电探测器二的入射角相同。3.根据权利要求2所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，分光镜和反光镜呈90度夹角设置，且光电探测器一与光电探测器二平行设置。4.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述折射镜一与光电探测器一贴合，所述折射镜二与光电探测器二贴合。5.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述激光束为P偏振光。6.根据权利要求1所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述折射镜一的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行；所述折射镜二的入射面与出射面均为平面，且入射面与出射面相互平行。7.根据权利要求1-6任一所述的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光束由激光源发射得到，激光源、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二均固定设置于壳体内，组成读数头。8.根据权利要求7所述的带有折射镜的带有折射镜的差分式位移传感器，其特征在于，所述读数头为至少两个，且所述至少两个读数头之间的位置关系满足：在测量过程中，至少有一个读数头可以读取到激光束在光电探测器一与光电探测器二上的入射位置变化量。9.权利要求1-8任一所述的带有折射镜的差分式位移传感器的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：将被测物体固定在三角波反射镜或读数头上；调整激光束、三角波反射镜、分光镜组、折射镜一、折射镜二、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，经折射镜一折射后入射至光电探测器一；另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二，经折射镜二折射后入射至光电探测器二；发射激光束，所述激光束经过所述三角波反射镜的反射面反射后入射至分光镜组，经分光镜组反射后且经折射镜一折射后被光电探测器一探测到该反射激光束的初始位置，经分光镜组透射后且经折射镜二折射后被光电探测器二检测到该透射激光束的初始位置；被测物体位移，在位移过程中，光电探测器一与光电探测器二分别检测到激光束的位置的变化，直到被测物体停止位移；处理系统通过对光电探测器一与光电探测器二检测到的位置变化进行处理，获得被测物体的位移值。

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