龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：馗鼎奈米科技(深圳)有限公司
摘要：一种高速、均匀且高品质的表面处理设备。此设备包含一个圆管形中空腔体，腔体内置有一个可自转的多边形中空柱体，柱体上以对称方式设有数个可以放置各种平面型基板的承载单元，因此基板承载单元会随着中空柱体的自转而进行公转。我们在固定不动的腔体壁上装入各种气体注入通道、抽气管道以及表面处理装置，排列方式对应于柱体上各个基板承载单元的位置。所以，当各个基板承载单元公转时，平面基板与腔体壁所形成的处理腔室会规律的进行进气、反应与抽气等步骤的多次循环，因此可使平面基板进行多循环的表面处理。
主权项：1.一种表面处理设备，其特征在于，该表面处理设备包含：一腔体，具有一腔室以及多个气体通道，其中该些气体通道穿设于该腔体中且环绕该腔室并与该腔室流体连通；至少一可自转中空柱体设于该腔室中，其中该至少一可自转中空柱体包含：一主体，包含多个分隔部；以及多个基板承载单元，环设于该主体的一外侧面上，且配置以承载多个基板，其中该些分隔部分别介于相邻的该些基板承载单元之间，每一该些基板承载单元与该腔体的一内侧面定义出一处理腔室；以及多个处理模块，配置以分别经由该些气体通道供应多个表面处理剂给该些处理腔室，其中每一该些基板承载单元的一承载面的一法线与该至少一可自转中空柱体的一转动轴非平行，进行一表面处理制程时，该至少一可自转中空柱体会自转，使每一该些基板依序暴露于该些表面处理剂，每一该些基板因自转离开原面对的该气体通道到达下一个将面对的该气体通道期间，该基板所在的该处理腔室会经历抽气的动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 馗鼎奈米科技(深圳)有限公司 表面处理设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号