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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本发明的实施例涉及使用云纹元件及旋转对称布置以成像叠加目标。一种计量目标可包含具有第一图案的一或多个例子的第一旋转对称工作区及具有第二图案的一或多个例子的第二旋转对称工作区，其中所述第一图案或所述第二图案中的至少一者是由在第一样本层上的具有沿着测量方向的第一节距的第一光栅结构及在第二样本层上的具有沿着所述测量方向的不同于所述第一节距的第二节距的第二光栅结构形成的云纹图案。当所述第一样本层与所述第二层之间的叠加误差是零时，所述第一工作区及所述第二工作区的旋转对称中心通过设计可重叠。所述第一工作区及所述第二工作区的所述旋转对称中心之间的差可指示所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加误差。
主权项：1.一种用于设计云纹计量目标的方法，其包括：接收计量目标的设计，所述计量目标包括：工作区，其包含云纹图案的一或多个非重叠例子，其中所述云纹图案包含第一样本层上的具有沿着测量方向的第一节距p1的第一光栅结构及第二样本层上的具有沿着所述测量方向的第二节距p2的第二光栅结构，其中所述第二节距不同于所述第一节距；接收成像系统的光学配置以用于使所述计量目标成像；及执行实验设计以选择所述计量目标的在通过所述成像系统成像时提供满足选定设计准则的云纹条纹图案的目标设计参数集，其中所述目标设计参数集包含所述第一节距及所述第二节距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 使用云纹元件及旋转对称布置以成像叠加目标
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