龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
摘要：本申请公开了一种存储器及其制作方法、存储系统。其包括以下步骤：形成相间隔的多个沟道结构、以及位于相邻的沟道结构之间的间隔部，沟道结构沿第一方向延伸；去除部分沟道结构，以在相邻的间隔部之间形成多个第一凹槽；在第一凹槽内形成掩膜部，且掩膜部凸出于第一凹槽外，以在相邻的掩膜部之间形成第二凹槽；在第二凹槽内形成隔垫部，并去除掩膜部，以在相邻的隔垫部之间形成第三凹槽；在第三凹槽内形成导电连接部，导电连接部沿第一方向连接于沟道结构。本申请可以实现导电连接部的高度可控，以满足不同的设计需求，提高了存储器的适用性。
主权项：1.一种存储器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：形成相间隔的多个沟道结构、以及位于相邻的所述沟道结构之间的间隔部，所述沟道结构沿第一方向延伸；去除部分所述沟道结构，以在相邻的所述间隔部之间形成多个第一凹槽；在所述第一凹槽内形成掩膜部，且所述掩膜部凸出于所述第一凹槽外，以在相邻的所述掩膜部之间形成第二凹槽；在所述第二凹槽内形成隔垫部，并去除所述掩膜部，以在相邻的所述隔垫部之间形成第三凹槽；在所述第三凹槽内形成导电连接部，所述导电连接部沿所述第一方向连接于所述沟道结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江存储科技有限责任公司 存储器及其制作方法、存储系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号