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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种版图拆分方法及系统、掩膜版、设备及存储介质，方法包括：获取初始版图层，初始版图层包括多个待拆分图形；获取初始版图层中待拆分图形的目标图形特征；根据拆分方法库以及目标图形特征，对初始版图层的待拆分图形进行拆分处理，获得图形拆分结果，拆分方法库中包括图形的图形特征与拆分方法之间的映射关系。本发明有利于优化拆分迭代次数，减轻拆分工具负担，提高拆分效率。
主权项：1.一种版图拆分方法，其特征在于，包括：获取初始版图层，所述初始版图层包括多个待拆分图形；获取所述初始版图层中待拆分图形的目标图形特征；根据拆分方法库以及所述目标图形特征，对所述初始版图层的待拆分图形进行拆分处理，获得图形拆分结果，所述拆分方法库中包括图形的图形特征与拆分方法之间的映射关系。
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权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 版图拆分方法及系统、掩膜版、设备及存储介质
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