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申请/专利权人：芯联集成电路制造股份有限公司
摘要：本发明提供了一种红外传感器及其制备方法。通过对微桥结构进行优化，使微桥结构具有桥墩、桥腿和桥面，并且桥腿相对于桥面倾斜而倾斜连接在桥面和桥墩之间，由于桥腿呈倾斜设置，从而可以在同一投影面积下增加桥腿的实际长度。以及，通过设置倾斜的桥腿，即可释放出更大尺寸的桥面用于配置敏感元件，增加了敏感元件在器件单元内的占比，进而可有效提高器件响应率等性能。
主权项：1.一种红外传感器，其特征在于，包括：衬底；微桥结构，形成在所述衬底上，所述微桥结构具有桥墩、桥腿和桥面，所述桥腿相对于所述桥面倾斜，并连接在所述桥面和所述桥墩之间；敏感元件，设置在所述桥面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯联集成电路制造股份有限公司 红外传感器及其制备方法
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