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申请/专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
摘要：本公开涉及半导体或光伏材料加工技术领域，具体涉及一种炉门和镀膜系统，解决了相关的炉门不具备承载功能以及炉门温度过高的问题。炉门包括：第一腔体和至少两个弹性组件，第一腔体具有冷却腔室和至少两个介质出入口，弹性组件分别与介质出入口对应设置，且与冷却腔室的内壁连接。介质输入管路和介质输出管路与炉体相对固定设置。在炉门与炉口分离时，弹性组件封闭介质出入口，在炉门盖合炉口时，介质输入管路和介质输出管路分别与两个弹性组件抵接、压缩弹性组件，并分别伸入介质出入口，以使冷却介质由介质输入管路流入冷却腔室，并由介质输出管路流出冷却腔室，从而通过冷却介质带走炉门的热量，以对炉门进行冷却，避免炉门温度过高。
主权项：1.一种炉门，其特征在于，应用于镀膜系统，所述镀膜系统包括炉体、所述炉门、升降装置和介质输入管路和介质输出管路，所述炉体的炉口朝向下方，所述炉门被配置为承载半导体产品，所述升降装置被配置为承载所述炉门并携带所述炉门升降，以使所述炉门盖合所述炉口或与所述炉口分离，所述介质输入管路与所述炉体相对固定设置，所述介质输入管路的输出端具有输出口，所述输出口贯穿所述介质输入管路的输出端的侧壁；所述介质输出管路与所述炉体相对固定设置，所述介质输出管路的输入端具有输入口，所述输入口贯穿所述介质输出管路的输入端的侧壁；其中，所述炉门包括：第一腔体，具有冷却腔室和至少两个介质出入口，所述冷却腔室被配置为容纳冷却介质，所述冷却介质由所述介质出入口流入或流出所述冷却腔室；至少两个弹性组件，分别与至少两个所述介质出入口对应设置，且与所述冷却腔室的内壁连接；其中，在所述炉门与所述炉口分离的情况下，所述弹性组件封闭所述介质出入口；在所述炉门盖合所述炉口的情况下，所述介质输入管路的输出端与所述弹性组件抵接、压缩所述弹性组件，并伸入一个所述介质出入口，以使所述冷却介质由所述介质输入管路流入所述冷却腔室，所述介质输出管路的输入端与所述弹性组件抵接、压缩所述弹性组件，并伸入另一个所述介质出入口，以使所述冷却介质由所述介质输出管路流出所述冷却腔室。
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