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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明公开了一种低散射超宽带减反膜及制备方法，属于光学薄膜技术领域。所述减反膜的结构从下往上依次包括基底、折射率渐变膜和介质保护膜。所述折射率渐变膜为单层或多层亚波长结构堆叠，降低了散射光，其折射率从基底折射率渐变至空气折射率，从而降低膜层界面引起的反射光，最终达到宽带减反射效果。介质保护膜采用原子层沉积复形镀膜，加固亚波长结构，提高可靠性。本发明提供的低散射超宽带减反膜，降低了亚波长结构的微观尺寸，减小了光散射，可以实现跨光谱波段的超宽带减反效果，制备简单，可批量生产。
主权项：1.一种低散射超宽带减反膜，其特征在于，所述减反膜的结构从下往上依次包括基底、折射率渐变膜和介质保护膜；所述基底为完全透光或完全不透光的材料，所述材料为熔融石英、光学玻璃、黑漆、金属黑膜或光伏电池；所述折射率渐变膜为原子层沉积的氧化铝薄膜经水浴法处理后获得的单层或多层亚波长结构薄膜的堆叠，其折射率从基底折射率渐变至空气折射率；所述介质保护膜为原子层沉积技术制备的表面复形的纳米或亚纳米薄膜，附着在所述折射率渐变膜的亚波长结构表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 一种低散射超宽带减反膜及制备方法
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