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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开一种减薄机，包括：主轴组件、驱动件、传感器和控制器；主轴组件包括主轴本体、主轴支架、连接件和磨轮；驱动件用于驱动主轴支架沿轴向移动；传感器与连接件固定连接，传感器用于通过连接件获取磨轮的当前磨削力，控制器根据磨轮的当前磨削力控制磨轮的磨削动作。根据本实用新型的减薄机，通过设置传感器和控制器能够实现对减薄机的磨轮的磨削力的实时监测，以实时控制磨轮的磨削动作，还能够使得减薄机在磨削进给的过程中减少空行程的时长，从而提高晶圆的磨削效率；通过在连接件上设置传感器，可以便于对传感器的拆卸和装配，同时，传感器不易受到磨轮反馈的作用力的影响，使得传感器不易损伤，从而能够提高传感器的可靠性。
主权项：1.一种减薄机，其特征在于，包括：主轴组件，所述主轴组件包括主轴本体、主轴支架、连接件和磨轮，所述连接件设置有多个，在主轴支架的轴向上，所述主轴支架具有通道，所述主轴本体穿设在所述通道中，所述连接件连接所述主轴本体和主轴支架，所述磨轮固定连接在所述主轴本体的下端；驱动件，所述驱动件用于驱动所述主轴支架沿轴向移动，以使所述磨轮朝向晶圆的方向活动，或远离所述晶圆的方向活动；传感器，所述传感器设置有至少一个，所述传感器安装在所述连接件上，所述传感器用于通过所述连接件获取所述磨轮的当前磨削力；控制器，所述控制器根据所述磨轮的当前磨削力控制所述磨轮的磨削动作。
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权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 减薄机
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