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一种缺陷目标检测网络及方法 

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申请/专利权人:深圳格芯集成电路装备有限公司

摘要:本发明公开一种缺陷目标检测网络及方法,包括:孪生异常注意力机制子网络、第一尺度检测子网络、第二尺度检测子网络和第三尺度检测子网络;所述孪生异常注意力机制子网络包括孪生的第一Focus模块、孪生的第二Focus模块、孪生的第一C2f模块、ACM模块和孪生的第三Focus模块。采用本发明,通过创新性的AAM、小目标缺陷改进模块以及AMBC‑Detect等关键技术,实现了芯片缺陷检测中小目标和曲线类缺陷的高效、精准识别,为工业质量控制领域提供了有力的技术支持。

主权项:1.一种缺陷目标检测网络,其特征在于,包括:孪生异常注意力机制子网络、第一尺度检测子网络、第二尺度检测子网络和第三尺度检测子网络;所述孪生异常注意力机制子网络的输出端与所述第一尺度检测子网络的输入端相连;所述第一尺度检测子网络的第一输出端与所述第二尺度检测子网络的第一输入端相连,所述第一尺度检测子网络的第二输出端与所述第二尺度检测子网络的第二输入端相连,所述第一尺度检测子网络的第三输出端与所述第三尺度检测子网络的第一输入端相连;所述第二尺度检测子网络的输出端和所述第三尺度检测子网络的第二输入端相连相连;所述孪生异常注意力机制子网络包括孪生的第一Focus模块、孪生的第二Focus模块、孪生的第一C2f模块、ACM模块和孪生的第三Focus模块;所述第一Focus模块与所述第二Focus模块相连;所述第二Focus模块相连与所述第一C2f模块相连;所述第一C2f模块相连与所述第三Focus模块相连;所述第三Focus模块相连与所述ACM模块相连。

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