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一种MO源瓶开关结构 

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申请/专利权人:苏州中科重仪半导体材料有限公司

摘要:本发明提供一种MO源瓶开关结构,涉及开关结构技术领域,包括MO源瓶,所述MO源瓶的上端固定安装有控制组件,所述控制组件的上端安装有出气管和进气管,所述控制组件的下端安装有短管和长管,开启,先旋转第三阀组,由于短管与液体没有接触,即使源瓶内外有压强不一致,只要旋转第三阀组并延时一段时间,第一竖槽、第二竖槽和横槽内部压强都一致,此时再旋转第一阀组,MO源瓶中的液体就不可能在压力下逆流到上面去,这就避免了MO源瓶开启时的液体逆流和倒灌。

主权项:1.一种MO源瓶开关结构,其特征在于:包括MO源瓶(1),所述MO源瓶(1)的上端固定安装有控制组件(2),所述控制组件(2)的上端安装有出气管(3)和进气管(4),所述控制组件(2)的下端安装有短管(5)和长管(6);所述控制组件(2)包括与MO源瓶(1)固定连接的安装壳(201),所述安装壳(201)的内部滑动安装有第一安装块(202)和第二安装块(208),所述第一安装块(202)与安装壳(201)之间通过螺栓安装,所述安装壳(201)上端和下端分别开设有配合导气槽组使用的连接气槽组,所述安装壳(201)的内部转动安装有配合第一阀组(203)、第二阀组(204)和第三阀组(205)使用的旋转盘(207),所述旋转盘(207)的侧壁安装有旋钮组件(206);通过所述MO源瓶(1)开关结构开启MO源瓶(1)的顺序如下,先转动第三阀组(205),再转动第一阀组(203),最后转动第二阀组(204),关闭源瓶的顺序如下,先转动第二阀组(204),再转动第一阀组(203),最后转动第三阀组(205),以上每一步时间间隔2秒至20秒之间。

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