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光纤位置调整单元、半导体检测系统及光纤位置调整方法 

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申请/专利权人:魅杰光电科技(上海)有限公司

摘要:本发明实施例提供一种光纤位置调整单元、半导体检测系统及光纤位置调整方法,光纤位置调整单元包括:第一安装板,所述第一安装板包括第一调节孔;所述第一调节孔用于安装光纤固定件的第一部分;第二安装板,所述第二安装板包括第二调节孔,所述第二调节孔用于安装光纤固定件的第二部分;第一调节结构,用于调节第二调节孔与第一调节孔的相对位置。采用上述技术方案,能够实现光纤位置的调整,以达到光纤出光轴线与中心轴线的偏差满足设计要求,进而提高成像效果,实现检测质量提升。

主权项:1.一种光纤位置调整单元,其特征在于,包括:第一安装板,所述第一安装板包括第一调节孔和至少两个凸起;所述第一调节孔用于安装光纤固定件的第一部分,所述至少两个凸起包括第一凸起和第二凸起,所述第一凸起内设有第一安装通孔,第二凸起内设有第二安装通孔;第二安装板,所述第二安装板包括第二调节孔、第一调节板、第一固定板和第一连接杠,所述第二调节孔用于安装光纤固定件的第二部分,且设于所述第一调节板上,所述第一连接杠连接所述第一调节板和所述第一固定板,所述第一固定板用于与所述第一安装板相固定;第一调节结构,所述第一调节结构通过带动所述第一调节板移动,以调节第二调节孔与第一调节孔的相对位置;所述第一调节结构包括第一调节杠和第二调节杠,所述第一调节杠经过第一安装通孔以带动所述第一调节板向一侧移动;所述第二调节杠经过第二安装通孔以带动所述第一调节板向另一侧移动;其中,所述第一凸起和所述第二凸起置于所述第一调节板两侧。

全文数据:

权利要求:

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