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申请/专利权人：中南大学
摘要：本发明公开了一种高光谱成像装置及其制备方法、成像方法，所述装置包括图像传感器、法布里‑珀罗滤光膜系、间隙检测模块、间隙调节机构以及控制模块；法布里‑珀罗滤光膜系的中间腔层和下层高反射膜系设在图像传感器的衬底上，上层高反射膜系设在基片上，间隙调节机构设在衬底与基片之间并使衬底与基片之间形成空气隙；控制模块根据间隙检测模块检测的空气隙控制间隙调节机构动作，以调节衬底与基片之间的空气隙，实现法布里‑珀罗滤光膜系工作波长的调节，从而实现光谱通道数量的增加，无需增加工艺复杂性和成本。
主权项：1.一种高光谱成像装置，其特征在于，包括：图像传感器，包括衬底、位于所述衬底表面的像素区域以及与所述衬底对应的基片，所述像素区域内有若干阵列排布的像素单元；法布里-珀罗滤光膜系，包括多个微滤光阵列，每个所述微滤光阵列包括多个以马赛克形式排列的对应于不同波长的微滤光单元，所述微滤光单元与所述像素单元一一对应，每个所述微滤光单元包括上层高反射膜系、中间腔层和下层高反射膜系，所述下层高反射膜系和中间腔层覆盖在对应的像素单元上，所述上层高反射膜系位于所述基片的对应位置；间隙检测模块，用于检测所述衬底与所述基片之间的空气隙；间隙调节机构，用于调节衬底与基片之间的间隙；控制模块，用于根据衬底与基片之间的空气隙控制间隙调节机构动作，以调节衬底与基片之间的间隙，实现法布里-珀罗滤光膜系工作波长的调节，进而实现光谱通道数的调节；其中，所述间隙检测模块包括电容和电容检测模块；所述电容，包括第一电极和第二电极，所述第一电极设于衬底上且分布于像素区域四周，所述第二电极设于所述基片上且与所述第一电极对应；所述电容检测模块，用于检测所述电容的容值；所述控制模块，还用于根据所述电容的容值计算衬底与基片之间的空气隙；所述间隙调节机构包括驱动模块以及多个压电陶瓷块；所述压电陶瓷块设于所述衬底与基片之间，所述驱动模块在所述控制模块的控制下驱动各压电陶瓷块动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南大学 高光谱成像装置及其制备方法、成像方法
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