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申请/专利权人：北京智芯微电子科技有限公司
摘要：本公开涉及磁传感技术领域，具体涉及一种磁敏元件及其制备方法、磁敏传感器、电子器件、芯片和电子设备。该磁敏元件包括：基底、有源区、激励电极和磁偏转电流检测电极；该基底位于最底层；该有源区形成于该基底上；该有源区为梳状结构，该梳状结构包括梳脊和多个梳齿，该多个梳齿从该梳脊的一侧或多侧伸出；该激励电极设置于该梳脊上或该梳脊外围，与该梳脊形成电接触，通过导线与外部电源相连，用于为该磁敏元件施加激励电流；该磁偏转电流检测电极设置于该梳齿两侧，用于检测该激励电流因磁场作用而发生偏转后所产生的电流变化。磁敏传感器包括该磁敏元件，利用该激励电流所产生的电流变化测量磁场，由此提高了传感器的灵敏度。
主权项：1.一种磁敏元件，其特征在于，所述磁敏元件包括：基底、有源区、激励电极和磁偏转电流检测电极；所述基底位于最底层；所述有源区形成于所述基底上；其中，所述有源区为对称梳状结构，所述对称梳状结构包括梳脊和多个梳齿，所述多个梳齿从所述梳脊的一侧或多侧伸出；其中，所述对称梳状结构包括：环形对称梳状结构、圆形对称梳状结构、正多边形对称梳状结构或者矩形对称梳状结构，当所述对称梳状结构为矩形对称梳状结构时，所述梳脊在梳齿排布方向上的长度尺寸大于所述梳脊的宽度尺寸的3倍；所述激励电极设置于所述梳脊上或所述梳脊外围，并与所述梳脊形成电接触，通过导线与外部电源相连，用于为所述磁敏元件施加激励电流；所述磁偏转电流检测电极设置于所述梳齿两侧，用于检测所述激励电流因磁场作用而发生偏转后所产生的电流变化。
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百度查询： 北京智芯微电子科技有限公司 磁敏元件及其制备方法、磁敏传感器、电子器件、芯片和电子设备
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