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申请/专利权人：岩谷产业株式会社
摘要：提供铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置。铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：i向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及ii向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。
主权项：1.一种钌的回收方法，所述回收方法是一种在成膜腔室内导入含有气化的羰基钌的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含钌膜之后，回收存在于所述成膜腔室内的钌的方法，所述回收方法具备如下步骤：（i）向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及（ii）向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂，在所述步骤（i）以及所述步骤（ii）之后，还具备（iii）从所述捕获剂取出钌的步骤，所述（iii）从所述捕获剂取出钌的步骤包括：在将所述捕获容器从成膜装置拆下之后，借由向所述捕获剂导入强酸而将吸附于所述捕获剂的钌氟化物作为钌盐溶液取出的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 岩谷产业株式会社 铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置
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