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一种铂薄膜温度传感器的质量评估方法及系统 

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申请/专利权人:南昌三盛半导体有限公司

摘要:本发明提供了一种铂薄膜温度传感器的质量评估方法及系统,该方法通过控制电路板工作,给阵列排布的若干铂薄膜温度传感器供电,并读取各铂薄膜温度传感器反馈的电压值;获取温循箱的当前温度值,根据铂薄膜温度传感器的电压值与温度值的关系,确定目标电压值;判断各铂薄膜温度传感器反馈的电压值是否均满足目标电压值;若是,则控制温循箱按照预设温度调控规则,进行温度循环,并实时获取温循箱的第一温度信息以及各铂薄膜温度传感器的第二温度信息;分析第一温度信息和第二温度信息,确定温度响应系数、稳定性系数以及精度系数,并计算各铂薄膜温度传感器的评估值,从而对铂薄膜温度传感器的质量进行准确、快速、综合地评估。

主权项:1.一种铂薄膜温度传感器的质量评估方法,其特征在于,应用于阵列排布的若干铂薄膜温度传感器与电路板电性连接的场景中,其中,不同批次的铂薄膜温度传感器被划分在电路板的不同区域上,铂薄膜温度传感器与电性连接的电路板被置于温循箱中,所述方法包括:控制电路板工作,给阵列排布的若干铂薄膜温度传感器供电,并读取各铂薄膜温度传感器反馈的电压值;获取所述温循箱的当前温度值,根据铂薄膜温度传感器的电压值与温度值的关系,确定目标电压值;判断各铂薄膜温度传感器反馈的电压值是否均满足所述目标电压值;若是,则控制所述温循箱按照预设温度调控规则,进行温度循环,并实时获取温循箱的第一温度信息以及各铂薄膜温度传感器的第二温度信息,所述第一温度信息包括第一温度值以及获取第一温度值的第一时间,所述第二温度信息包括第二温度值以及获取第二温度值的第二时间,所述第二温度值由铂薄膜温度传感器的电压值转换而来;分析所述第一温度信息和所述第二温度信息,确定温度响应系数、稳定性系数以及精度系数,并根据温度响应系数、稳定性系数以及精度系数,计算各铂薄膜温度传感器的评估值,所述评估值用于反映铂薄膜温度传感器的质量;所述控制所述温循箱按照预设温度调控规则,进行温度循环的步骤中,控制升温速率和降温速率均不超过5℃min,且将温度区间分为工作温度区间、非工作温度区间以及极限温度区间,升温速率由小到大分为三个等级,包括第一升温等级、第二升温等级以及第三升温等级,降温速率也由小到大分为三个等级,包括第一降温等级、第二降温等级以及第三降温等级,其中,在温循过程中,每个温度区间至少经历一次不同等级的升温速率和不同等级的降温速率。

全文数据:

权利要求:

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