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申请/专利权人：美新半导体(绍兴)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种新型结构靶材，包括靶材支撑体和靶材本体；靶材本体固定安装于靶材支撑体上，靶材本体远离靶材支撑体的一侧为工作面，工作面上设置有至少一个环状凸起，环状凸起沿径向边缘与靶材本体形成夹角θ的范围为60‑80度。设置环状凸起，靶材的使用寿命提高了1.5‑2倍，避免了靶材浪费，降低靶材的使用成本，减少设备的维护保养频率和成本。还能够减薄靶材本体的厚度，减少大部分极少被轰击区域的浪费。环状凸起沿径向边缘与靶材本体形成斜坡，保证沉积薄膜的均匀性，以满足淀积薄膜均匀性的工艺要求。
主权项：1.一种新型结构靶材，其特征在于，包括靶材支撑体1和靶材本体2；靶材本体2固定安装于靶材支撑体1上，靶材本体2远离靶材支撑体1的一侧为工作面21，工作面21上设置有至少一个环状凸起22，环状凸起22沿径向边缘与靶材本体2形成夹角θ的范围为60-80度。
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权利要求：
百度查询： 美新半导体(绍兴)有限公司 一种新型结构靶材
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