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申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
摘要：本实用新型属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆圆心测算用摄像装置，用于对晶圆进行检测。该晶圆圆心测算用摄像装置包括：支撑机构、调节机构和成像机构。调节机构与支撑架连接，调节机构包括连接板、安装板、螺栓座和调节螺栓，连接板与支撑架连接，螺栓座与连接板连接，连接板一侧向内凹陷形成燕尾槽，安装板一端向外凸起形成燕尾导块，燕尾导块与燕尾槽滑动连接，安装板设有螺纹槽，调节螺栓与螺纹槽螺接且与螺栓座卡接，螺栓座能够使调节螺栓只能沿自身轴线转动，当调节螺栓转动时，燕尾导块能够沿燕尾槽滑动。通过燕尾槽与燕尾导块的连接结构，使得转动调节螺栓转动时能够使安装板缓慢的移动，降低人工校准难度。
主权项：1.晶圆圆心测算用摄像装置，用于对晶圆100进行检测，其特征在于，包括：支撑机构1，包括底座11、支撑架12和承载台13，所述支撑架12与所述承载台13均设置于所述底座11的一侧，所述承载台13与所述底座11转动连接，所述承载台13能够绕自身轴线转动；调节机构2，与所述支撑架12连接，所述调节机构2包括连接板21、安装板22、螺栓座24和调节螺栓23，所述连接板21与所述支撑架12连接，所述螺栓座24与所述连接板21连接，所述连接板21一侧向内凹陷形成燕尾槽211，所述安装板22一端向外凸起形成燕尾导块221，所述燕尾导块221与所述燕尾槽211滑动连接，所述安装板22设有螺纹槽222，所述调节螺栓23与所述螺纹槽222螺接且与所述螺栓座24卡接，所述螺栓座24能够使所述调节螺栓23只能沿自身轴线转动，当所述调节螺栓23转动时，所述燕尾导块221能够沿所述燕尾槽211滑动；成像机构3，与所述安装板22连接，所述成像机构3包括相机31。
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