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申请/专利权人：浙江珏芯微电子有限公司
摘要：本发明涉及红外探测器技术领域，具体涉及一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法。包括标准真空腔室和杜瓦真空腔室，杜瓦真空腔室与杜瓦连通，标准真空腔室和杜瓦真空腔室内均设有相同结构的脉冲传播机构，脉冲传播机构用于接收脉冲激光器发出的脉冲并控制脉冲沿设定的增长光路进行传播；激光探测器，用于接收经过脉冲传播机构传播的脉冲，激光探测器还用于根据脉冲在标准真空腔室和杜瓦真空腔室中传播的时差计算杜瓦的真空度。本发明通过测量脉冲在标准真空环境与杜瓦内部环境中传播的时差测算杜瓦内部实时的真空度，无需破坏杜瓦即可表征杜瓦内部真空度，测试前后对杜瓦真空度无不利影响。
主权项：1.一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，包括，标准真空腔室（1）和杜瓦真空腔室（2），所述杜瓦真空腔室（2）与杜瓦（3）连通，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）内均设有相同结构的脉冲传播机构，所述脉冲传播机构用于接收脉冲激光器（4）发出的脉冲并控制所述脉冲沿设定的增长光路进行传播；激光探测器（5），用于接收经过所述脉冲传播机构传播的所述脉冲，所述激光探测器（5）还用于根据所述脉冲在所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）中传播的时差计算所述杜瓦的真空度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江珏芯微电子有限公司 一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法
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