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申请/专利权人：长川科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆真空吸附手指及晶圆搬运设备，涉及晶圆搬运技术领域，本实用新型提供的晶圆真空吸附手指包括承载本体和定位组件，承载本体开设有用于吸附晶圆组件的吸气通道，晶圆组件包括晶圆本体、蓝膜和晶圆铁环，晶圆本体通过蓝膜固定在晶圆铁环，吸气通道用于对蓝膜或晶圆本体进行吸附，定位组件安装于承载本体上，定位组件用于限定晶圆组件中晶圆铁环相对于承载本体的位置。本实用新型提供的晶圆真空吸附手指设有定位组件，定位组件可限定晶圆铁环相对于承载本体的位置，从而保证了晶圆组件位置的准确性，降低晶圆组件跌落风险。
主权项：1.一种晶圆真空吸附手指，其特征在于，包括承载本体1和定位组件2，所述承载本体1开设有用于吸附晶圆组件的吸气通道11，所述晶圆组件包括晶圆本体、蓝膜3和晶圆铁环4，所述晶圆本体通过所述蓝膜3固定在所述晶圆铁环4，所述吸气通道11用于对所述蓝膜3或所述晶圆本体进行吸附，所述定位组件2安装于所述承载本体1上，所述定位组件2用于限定所述晶圆组件中晶圆铁环4相对于所述承载本体1的位置。
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权利要求：
百度查询： 长川科技(苏州)有限公司 晶圆真空吸附手指及晶圆搬运设备
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