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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明公开了一种动态绝压真空计，属于真空计技术领域，包括真空计主体，真空计主体内设有参考腔室和待测腔室，参考腔室和待测腔室之间通过输气通道相连通，输气通道上设置有阀体，阀体用以调节参考腔室与待测腔室之间处于连通状态或隔断状态。本发明通过设置一个相对密闭的参考腔室，参考腔室与待测腔室仅通过输气通道相连通，通过阀体调节参考腔室与待测腔室之间处于连通状态或隔断状态，通过对待测腔室抽真空经打开的阀体降低参考腔室内的气压，直至参考腔室达到与待测腔室相同的真空度后阀体关闭，参考腔室内气压稳定性好，精度高，成本低，无需抽真空并长久密封保存，可重复使用，避免长久放置零漂的情况，能够保障长期使用的稳定性。
主权项：1.一种动态绝压真空计，其特征在于，包括真空计主体1，所述真空计主体1内设有参考腔室100和待测腔室200，所述参考腔室100和所述待测腔室200之间通过输气通道10相连通，所述输气通道10上设置有阀体11，所述阀体11用以调节所述参考腔室100与所述待测腔室200之间处于连通状态或隔断状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种动态绝压真空计
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