龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：山西创芯光电科技有限公司
摘要：本发明提供了一种形状规整的铟柱阵列制备方法，属于红外探测器技术领域；解决了现有铟柱生长和回流工艺存在的生长高度不达标、形状不均匀的问题，包括以下步骤：在基片表面匀胶、光刻后形成光刻孔阵列；对完成光刻工艺后的基片进行表面改性处理；在经过表面改性处理的基片的表面采用镀膜工艺形成一层均匀的金属层；在完成金属生长的基片的表面采用镀膜工艺形成一层均匀的铟层；采用剥离、清洗工艺处理生长铟层后的基片，将光刻孔阵列侧壁的金属层和光刻胶以及光刻胶顶部的金属层、铟层剥离，从而得到生长高度大、形状规整的铟柱阵列；本发明应用于铟柱阵列制备。
主权项：1.一种形状规整的铟柱阵列制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：在基片表面匀胶、光刻后形成光刻孔阵列；S2：对完成光刻工艺后的基片进行表面改性处理；S3：在经过表面改性处理的基片的表面采用镀膜工艺形成一层均匀的金属层；S4：在完成金属生长的基片的表面采用镀膜工艺形成一层均匀的铟层；S5：采用剥离、清洗工艺处理生长铟层后的基片，将光刻孔阵列侧壁的金属层和光刻胶以及光刻胶顶部的金属层和铟层去除，从而得到生长高度大、形状规整的铟柱阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山西创芯光电科技有限公司 一种形状规整的铟柱阵列制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号