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申请/专利权人：北京爱克瑞特金刚石工具有限公司
摘要：本申请涉及化学气相沉积装置技术领域，具体公开一种热丝辅助的直流电弧等离子体喷射CVD设备和通气方法。本CVD设备包括直流电弧等离子体发生器和辅助热丝架。直流电弧等离子体发生器包括阴极、阳极和等离子体约束管。阳极间隔套在阴极外侧，等离子体约束管间隔套在阳极外侧。阴极和阳极之间具有保护气流通道；阳极的下沿内口为阳极喷口；阳极和等离子体约束管之间具有反应气流通道。阴极自身内部、阳极自身内部和等离子体约束管自身内部分别开设有冷却通道。本申请将辅助热丝架设置于直流电弧等离子体发生器和样品台之间，实现镀膜面积扩大的同时，提高金刚石膜生长速度和质量。
主权项：1.一种热丝辅助的直流电弧等离子体喷射CVD设备，其特征在于，包括直流电弧等离子体发生器和辅助热丝架；所述直流电弧等离子体发生器包括阴极、阳极和等离子体约束管；所述阳极间隔套在所述阴极外侧，所述等离子体约束管间隔套在所述阳极外侧；所述阴极的底端配置为能在通电后相对所述阳极的下沿产生电弧；所述阳极的下沿位于所述阴极的底端之下，所述等离子体约束管的下沿位于所述阳极的下沿之下；所述辅助热丝架设置于所述等离子体约束管的下沿之下；所述阴极和所述阳极之间具有保护气流通道；所述阳极的下沿内口为阳极喷口；所述阳极和所述等离子体约束管之间具有反应气流通道；所述阴极自身内部、所述阳极自身内部和所述等离子体约束管自身内部分别开设有冷却通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京爱克瑞特金刚石工具有限公司 一种热丝辅助的直流电弧等离子体喷射CVD设备和通气方法
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