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申请/专利权人：安徽外延科技有限公司
摘要：本发明涉及一种激光热蒸镀系统，包括操作台、系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组，蒸镀模组设置在操作台上，操作屏幕设置在蒸镀模组侧面的操作台上，系统控制单元设置在操作台的侧面，系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组电性相连，蒸镀模组包括激光加热模块、红外测温模块、真空腔体、样品台、蒸发源炉和样品台运动控制模块，真空腔体设置在操作台上，激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体上，样品台运动控制模块间隔激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体的上方，真空腔体内由上至下设置样品台和蒸发源炉，样品台和蒸发源炉均与激光加热模块和红外测温模块相对应。本发明避免了获得极高温的技术瓶颈，应用场景丰富，可控性和稳定性好。
主权项：1.一种激光热蒸镀系统，包括操作台1、系统控制单元2、操作屏幕3和蒸镀模组4，所述蒸镀模组4设置在所述操作台1上，所述操作屏幕3设置在所述蒸镀模组4发侧面的所述操作台1上，所述系统控制单元2设置在所述操作台1的侧面，所述系统控制单元2、所述操作屏幕3和所述蒸镀模组4电性相连，其特征在于：所述蒸镀模组4包括激光加热模块5、红外测温模块6、真空腔体7、样品台8、蒸发源炉9和样品台运动控制模块10，所述真空腔体7设置在所述操作台1上，所述激光加热模块5和所述红外测温模块6设置在所述真空腔体7上，所述样品台运动控制模块10间隔所述激光加热模块5和所述红外测温模块6设置在所述真空腔体7的上方，所述真空腔体7内由上至下设置所述样品台8和所述蒸发源炉9，所述样品台8和所述蒸发源炉9均与所述激光加热模块5和所述红外测温模块6相对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽外延科技有限公司 一种激光热蒸镀系统
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