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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种温控系统及一种半导体加工设备。所述温控系统包括冷却模块、加热模块、多根冷流体管路及多根热流体管路。所述冷却模块用于冷却流经其中的工作流体，以输出冷流体。所述加热模块用于加热流经其中的工作流体，以输出热流体。所述多根冷流体管路输入端连接所述冷却模块，而其输出端分别经由第一流量调整阀连接半导体加工设备中的至少一个工作部件的第一输入端。所述多根热流体管路输入端连接所述加热模块，而其输出端分别经由第二流量调整阀连接所述半导体加工设备中的至少一个工作部件的第二输入端，分别向所述至少一个工作部件输出第二流量的热流体，以在各所述工作部件处混合获得符合其目标工作温度的工作流体。
主权项：1.一种温控系统，其特征在于，包括：冷却模块，用于冷却流经其中的工作流体，以输出冷流体；加热模块，用于加热流经其中的工作流体，以输出热流体；多根冷流体管路，其输入端连接所述冷却模块，而其输出端分别经由第一流量调整阀连接半导体加工设备中的至少一个工作部件的第一输入端，以分别向所述至少一个工作部件输出第一流量的冷流体；以及多根热流体管路，其输入端连接所述加热模块，而其输出端分别经由第二流量调整阀连接所述半导体加工设备中的至少一个工作部件的第二输入端，分别向所述至少一个工作部件输出第二流量的热流体，以在各所述工作部件处混合获得符合其目标工作温度的工作流体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 温控系统及半导体加工设备
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