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申请/专利权人：深圳市荣者光电科技发展有限公司

摘要：本发明涉及微通道板清洗技术领域，特别是微通道板表面的清洗方法。本发明的优点在于：通过配制稀HNO3溶液，在温度25℃、超声频率480W的条件下对微通道板进行清洗，在稀HNO3作用下溶解碱金属离子，有效去除金属及金属氧化物、有机物等污染，结合超声波清洗，不仅对微通道表面的产生冲击力，还能深入通道内，对颗粒污染物产生冲击力，使污染物脱离表面，此方法避免了强酸强碱等高危害性溶剂的使用，有效去除微通道板表面污染，在经过清洗后，结合物理清洗方法等离子清洗和紫外辐照方法，可用等离子体轰击表面自由状态的微粒子，彻底将颗粒物剥离出来，得到超高洁净表面；同时引入紫外辐照，可进一步分解有机物，产生活性氧原子，活化材料表面。

主权项：1.微通道板表面的清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：A、清洗液清洗；所述洗液清洗步骤包括以下具体步骤：A1、配置稀HNO3溶液，以及去离子水，向超声清洗机中加入配制好的稀HNO3溶液；A2、将微通道板输入面朝上放置于聚四氟乙烯工装限位槽处，然后固定在超声波清洗机中，进行超声清洗；A3、计时结束后，取出夹具，打开去离子水开关，在流动的去离子水下继续冲洗微通道板表面，以去除表面残留的HNO3溶液，冲洗30s-45s后关闭去离子水开关；A4、向超声清洗机中加入异丙醇有机溶剂与水的混合溶液，直至淹没装有微通道板的工装，进行超声；A5、计时结束后，取出夹具，打开去离子水开关，在流动的去离子水下继续冲洗微通道板表面，以去除表面残留的异丙醇溶剂，冲洗30s-45s后关闭去离子水开关；A6、打开高纯氮气流量阀，氮气纯度≥99.99％，调节氮气流量为0.01sccm，使用氮气枪吹除微通道板输入、输出端面的去离子水；A7、将吹干后的微通道板放入干燥箱中进行倾斜干燥，倾斜角度30°-35°，设置干燥温度60℃-70℃，干燥时间1h；B等离子清洗、B1、用经异丙醇湿润后的无尘布擦拭等离子清洗腔体；B2、取出经清洗干燥后的微通道板，输入面朝上置于等离子清洗工装限位槽处，然后将等离子清洗工装安装在等离子清洗腔体中，关闭腔体盖板；B3、采用干泵及分子泵，对等离子腔体进行抽真空，将腔室中的气体抽走，其中腔体的真空度优于1×10-6torr；B4、真空度达到1×10-6torr后，设置氩气流量为0.333sccm，然后打开高纯氮气流量阀，等待30s，直至氩气充满整个等离子清洗腔体，真空度约为6.0×10-2torr；B5、待分子泵转速稳定后，打开等离子射频电源，在真空腔室内的电子与接地保护装置之间形成高频率电压，使氩气被击穿，形成辉光放电使其离子化，形成等离子体，待辉光稳定后，开始对微通道板进行等离子清洗，计时5min-10min，形成的等离子体彻底覆盖微通道板表面；B6、计时结束后，依次关闭等离子射频电源、氩气流量阀，等待等离子清洗腔体自然冷却至室温；B7、关闭腔体插板阀，关闭分子泵及干泵开关，打开腔体氮气阀，进行破真空处理，取出微通道板，存放在氮气柜中，减少暴露在空气中的污染；C紫外辐照；C1、使用碳纤维镊子将等离子清洗后的微通道板输入面朝上夹取至夹具限位槽处，然后将夹具置于紫外清洗机中，调整清洗机侧面的螺钉来调节微通道板表面与UV紫外清洗灯之间的距离，保证微通道板输入面处于紫外灯下方20mm-25mm，设置紫外辐照时间为1h-2h；C2、计时结束后，取出装有微通道板的夹具，使用碳纤维镊子夹取微通道板边缘处置于微通道板包装盒中，转移至真空存储腔室储存。

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