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申请/专利权人：富士胶片株式会社
申请日：2023-03-09
公开（公告）日：2024-10-29
公开（公告）号：CN118871864A
专利技术分类：...所用的液体成分，例如，显影剂[2006.01]
专利摘要：本发明的课题在于提供一种药液，在其用于使被接触物与药液接触的工序中的情况下，被接触物不易产生预定的缺陷。本发明的药液含有：有机溶剂；以及含金属粒子，其包含选自由Fe、Ni及Zn所组成的组中的金属元素，所述药液通过方法X得到的I值为0.010～10.000。方法X：在基板上涂布上述药液而制作被检体，利用激光烧蚀‑电感耦合等离子体‑质谱分析法对被检体的表面扫描激光进行分析，对每个上述金属元素获取横轴为激光的扫描时间及纵轴为离子检测强度的图，将图的上述离子检测强度按照上述扫描时间进行累计，得到每个上述金属元素的累计离子检测强度，将对每个上述金属元素的累计离子检测强度进行合计并设为合计累计离子检测强度，将合计累计离子检测强度除以激光的扫描面积，得到单位为计数mm2countmm2的I值。
专利权项：1.一种药液，其含有：有机溶剂；以及含金属粒子，其包含选自由Fe、Ni及Zn所组成的组中的金属元素，所述药液通过方法X得到的I值为0.010～10.000，方法X：在基板上涂布所述药液而制作被检体，利用激光烧蚀-电感耦合等离子体-质谱分析法对所述被检体的表面扫描激光进行分析，对每个所述金属元素获取横轴为激光的扫描时间及纵轴为离子检测强度的图，将所述图的所述离子检测强度按照所述扫描时间进行累计，得到每个所述金属元素的累计离子检测强度，将对每个所述金属元素的所述累计离子检测强度进行合计并设为合计累计离子检测强度，将所述合计累计离子检测强度除以激光的扫描面积，得到单位为计数mm2的I值。
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