龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：拓荆科技股份有限公司
摘要：本发明是关于一种预防圆晶破裂的装置和预防方法，其中，装置包括：高温反应腔，包括反应腔侧壁；反应基座，设置于高温反应腔的中心处，反应基座上设有晶圆，反应基座下方设有PIN升降板，设置晶圆升降PIN，其下端由PIN升降板运动顶起与下落，其上端抵住晶圆；第一传感器，位于PIN升降板上方，第一传感器包括第一发射器和第一接收器，第一发射器和第一接收器相对设置，晶圆升降PIN的下端位于第一发射器和第一接收器之间；光电转换器，与第一接收器连接，光电转换器能够获取第一接收器的光信号；其中，第一传感器的个数与晶圆升降PIN的个数相同。能够适应高温环境，根据晶圆升降PIN的状态，提前预防晶圆的破裂，降低破片率，提高生产效益。
主权项：1.一种预防晶圆破裂的装置，其特征在于，所述装置包括：高温反应腔，包括反应腔侧壁；反应基座，设置于所述高温反应腔的中心处，所述反应基座上设有晶圆，所述反应基座下方设有PIN升降板，所述反应基座内设置晶圆升降PIN，所述晶圆升降PIN下端由所述PIN升降板运动顶起与下落，所述晶圆升降PIN上端抵住所述晶圆；第一传感器，位于所述PIN升降板上方，所述第一传感器包括第一发射器和第一接收器，所述第一发射器和所述第一接收器相对设置，所述晶圆升降PIN的下端位于所述第一发射器和所述第一接收器之间；所述第一发射器和所述第一接收器的下方分别设置升降托盘；光电转换器，与所述第一接收器连接，所述光电转换器能够获取所述第一接收器的光信号；其中，所述第一传感器的个数与所述晶圆升降PIN的个数相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技股份有限公司 预防晶圆破裂的装置和预防方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号