龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：兹描述沉积膜的方法。具体而言，兹描述沉积金属氧化物膜的方法。通过将基板暴露于有机金属性前驱物，接着暴露于氧化剂，而相对于介电质层选择性地将金属氧化物膜沉积于金属层上。
主权项：1.一种沉积膜的方法，所述方法包含以下步骤：在没有三甲基铝TMA的情况下，将具有金属层及介电质层的基板暴露于有机金属性前驱物，以相对于所述介电质层选择性地将金属膜沉积于所述金属层上，所述金属膜包含铝，所述有机金属性前驱物包含大于95％的三-叔丁基铝TTBA和小于5％的以下的一或多种：双2-甲基-2-丙基-2-甲基-1-丙基铝、2-甲基-2-丙基双2-甲基-1-丙基铝和三2-甲基-1-丙基铝；清理处理腔室的所述有机金属性前驱物，将所述基板暴露于氧化剂，以与所述金属膜反应，用以将金属氧化物膜形成于所述金属层上，所述金属氧化物膜包含氧化铝；及清理所述处理腔室的所述氧化剂。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号