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申请/专利权人：安徽微迈思科技有限公司
摘要：本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其为一种线性蒸发源堵口疏通装置，包括坩埚，所述坩埚顶部固定安装有若干个喷嘴，所述喷嘴左右两侧分别开设有腔室，所述喷嘴内壁两侧分别开设有滑槽，且滑槽连通腔室，其中一个腔室底部固定安装有驱动模块，所述腔室内设有滑轨组件；本实用新型提供的技术方案中，当压强传感器感应到喷嘴堵塞报警后，工作人员通过接入驱动模块电源启动驱动模块，带动疏通板纵向移动，通过滑块与固定杆连接可以支撑辅助圆框纵向移动提升其移动的稳定性，通过提高圆框的稳定性，间接提高疏通板在向上移动疏通作业时的稳定，使疏通板可以有效的剔除喷嘴凝结块，从而提高产品的生产的品质与生产的效率。
主权项：1.一种线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于，包括坩埚1，所述坩埚1顶部固定安装有若干个喷嘴3，所述喷嘴3左右两侧分别开设有腔室4，所述喷嘴3内壁两侧分别开设有滑槽5，且滑槽5连通腔室4，其中一个腔室4底部固定安装有驱动模块6，另一个腔室4顶部固定安装压强传感器13，所述腔室4内设有滑轨组件，所述喷嘴3内设有疏通组件，所述驱动模块6用于驱动疏通组件带动清洁组件疏通喷嘴3堵口，所述坩埚1两侧设有清洁组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽微迈思科技有限公司 一种线性蒸发源堵口疏通装置
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