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申请/专利权人：石家庄帕威半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种外延炉尾气处理换热器，属于外延炉尾气处理器技术领域，包括外延炉尾气处理器，所述外延炉尾气处理器出气口安装有L形金属排气管，所述L形金属排气管外包裹有L形金属换热套筒，所述L形金属换热套筒顶部安装有温度传感器，所述L形金属换热套筒中部进水口通过进水管和水泵连接有冷水箱，所述L形金属换热套筒底部出水口通过阀门和出水管连接有保温水箱的进水口，本实用新型公开的外延炉尾气处理换热器在减缓冷风倒灌的基础上，通过可换热的L形金属换热套筒，可将其内冷水加热到一定温度后排出，合理利用尾气余热，节约资源。
主权项：1.一种外延炉尾气处理换热器，包括外延炉尾气处理器1，其特征在于：所述外延炉尾气处理器1出气口安装有L形金属排气管2，所述L形金属排气管2外包裹有L形金属换热套筒12，所述L形金属换热套筒12顶部安装有温度传感器14，所述L形金属换热套筒12中部进水口通过进水管10和水泵11连接有冷水箱7，所述L形金属换热套筒12底部出水口通过阀门8和出水管9连接有保温水箱6的进水口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 石家庄帕威半导体科技有限公司 一种外延炉尾气处理换热器
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