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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种管状靶材的制备方法，所述制备方法包括以下操作步骤：获取金属熔液；将金属熔液通过浇铸口导入中空圆柱状结构的离心铸造模具中，在浇铸过程中，浇铸口保持位置固定，离心铸造模具绕其中心轴线旋转的同时沿轴向位移，浇铸口浇铸的金属熔液在离心力作用下形成浇铸管段，浇铸管段形成过程中持续对新形成的浇铸管段上超过预设厚度的金属熔液进行刮除操作；冷却，脱模得到管状靶材。本申请提供的制备方法在浇铸的同时，持续对新形成的浇铸管段上超过预设厚度的金属熔液进行刮除操作，能够保证浇铸的管状靶材各位置的厚度一致性。
主权项：1.一种管状靶材的制备方法，其特征在于，包括以下操作步骤：获取金属熔液；将金属熔液通过浇铸口导入中空圆柱状结构的离心铸造模具中，在浇铸过程中，浇铸口保持位置固定，离心铸造模具绕其中心轴线旋转的同时沿轴向位移，浇铸口浇铸的金属熔液在离心力作用下形成浇铸管段，浇铸管段形成过程中持续对新形成的浇铸管段上超过预设厚度的金属熔液进行刮除操作；冷却，脱模得到管状靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种管状靶材的制备方法
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