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夹紧机构及蒸镀装置 

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申请/专利权人:浙江柔震科技有限公司

摘要:本发明公开了一种夹紧机构及蒸镀装置,属于真空镀覆技术领域,其包括:夹紧单元,夹紧单元在作用方向施加夹紧作用力;以及补偿单元,用于补偿夹紧单元的夹紧力;其中,夹紧单元包括施力件和传动件,施力件产生夹紧作用力,协同传动件将夹紧作用力传递至拟作用的目标结构;补偿单元包括膨胀组件,膨胀组件形成封闭的空间,其内与工作环境存在压差,以产生膨胀作用力,作用在传动件上,该压强差随温度升高逐渐增大,以协同补偿损失的夹紧力。本发明,基于设置膨胀组件,来适应温度升高,导致的弹性元件热衰,保证夹紧力。

主权项:1.一种夹紧机构,包括:夹紧单元,夹紧单元在作用方向施加夹紧作用力;以及补偿单元,用于补偿夹紧单元的夹紧力;其特征在于,夹紧单元包括施力件和传动件,施力件产生夹紧作用力,协同传动件将夹紧作用力传递至拟作用的目标结构;补偿单元包括膨胀组件,膨胀组件形成封闭的空间,其内与工作环境存在压差,以产生膨胀作用力,作用在传动件上,该压强差随温度升高逐渐增大,以协同补偿损失的夹紧力。

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权利要求:

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