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一种混气进气装置 

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申请/专利权人:武汉市飞瓴光电科技有限公司

摘要:本发明涉及一种混气进气装置,其包括沿气流流向依次连接的进气端管件、成涡器和出气端管件;进气端管件靠近成涡器的一侧形成有混气室,进气端管件远离成涡器的一端形成有与混气室连通的进气孔;出气端管件形成有两端贯通的出气室;成涡器形成有至少一个分气孔组,每一分气孔组包括若干分气孔,分气孔沿轴线方向偏转角度为50‑70°,沿径向方向偏转角度为65‑85°,混气室和出气室仅通过分气孔连通;本申请提供的混气进气装置,辅助载气混合均匀且彻底,采用特定结构的分气孔结构,在出气室的出口处形成涡度稳定的气旋涡流,提高微波等离子体气旋涡度及焰炬燃烧效率,保证反应气体混合均匀且在管口处不形成反应物而导致的提前沉积玻璃化。

主权项:1.一种混气进气装置,其特征在于,包括沿气流流向依次连接的进气端管件、成涡器和出气端管件;所述进气端管件靠近所述成涡器的一侧形成有混气室,所述进气端管件远离所述成涡器的一端形成有与所述混气室连通的进气孔;所述出气端管件形成有两端贯通的出气室;所述成涡器形成有至少一个分气孔组,每一所述分气孔组包括若干分气孔,所述分气孔沿轴线方向偏转角度为50-70°,沿径向方向偏转角度为65-85°,所述混气室和所述出气室仅通过所述分气孔连通。

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权利要求:

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