龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：刘华炜
摘要：本发明公开了一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构，其包括一真空室本体、一静电吸盘组、一惰性气体供给模块及辅助抽气装置组配合，其用于至少一晶圆片体的加工，该静电吸盘组设于真空室本体内，以进行晶圆片体的静电吸附，而该惰性气体供给模块连接静电吸盘组进行加工制程中的惰性气体供气，提供制程所需控温的传导作用，且该辅助抽气装置组连接真空室本体及静电吸盘组，当加工制程结束辅助将残留的惰性气体快速抽出，使静电吸盘组上的晶圆片体加工完成后可快速进行取片，有效缩点加工制程的时间，且使加工制程更为顺畅，以达加工稳定性及便利性佳之功效。
主权项：1.一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构，包括一真空室本体、一静电吸盘组及一惰性气体供给模块构成，该真空室本体设有一真空腔、一密封盖及一真空抽气机，而该真空腔与密封盖枢接，于真空腔以密封盖密封后，以真空抽气机将真空腔内抽为真空状态，该静电吸盘组贯通设有数通气口，而该静电吸盘组的底侧设有一进气管，且该进气管与通气口导通，该静电吸盘组顶面设有数沟槽，且该数沟槽与通气口连通，该惰性气体供给模块设有相互连接的一惰性气体控制槽及一连接管，其静电吸盘组设于该真空室本体内，该惰性气体供给模块的连接管，与静电吸盘组所设进气管导通连接；其特征在于：半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构：进一步设有一辅助抽气装置组，该辅助抽气装置组设有一第一气动阀，而该第一气动阀设有一抽气端及一回气端，其中该抽气端与静电吸盘组所设该进气管导通连接，而该回气端与惰性气体供给模块所设连接管导通连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 刘华炜 半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号