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申请/专利权人：青海圣诺光电科技有限公司
摘要：本发明属于抛光用复合磨料技术领域，尤其是一种碳化硅衬底抛光用复合磨料的制备方法，包括步骤一，纳米级勃姆石制备，以纯度为99.99％的氢氧化铝为原材料，将氢氧化铝加入高压反应釜中，加入1％‑1.5％的诱导剂，加入表面活性剂，步骤二，纳米氧化铝制备，步骤三，复合磨料制备。本发明提出的的氧化铝表面包覆氧化硅的复合磨料，能够适用于酸性、中性、碱性各种PH的抛光液，适用范围广，够能解决单一氧化硅、氧化铈磨料抛光效率低的问题，解决单一氧化铝磨料划伤多、加工良率低的问题。
主权项：1.一种碳化硅衬底抛光用复合磨料的制备方法，其特征在于，所述复合磨料包括氢氧化铝粉体和以氢氧化铝粉体质量为参照的质量百分比的组分：诱导剂1％-2％，表面活性剂1％-2％，矿化剂0.5％-1.5％，分散剂1％-1.5％，柠檬酸1％-1.5％，硅酸盐2％-5％，pH调节剂调节pH在3-6；所述复合磨料的制备方法包括以下步骤：步骤一，纳米级勃姆石制备，以纯度为99.99％的氢氧化铝为原材料，将氢氧化铝加入高压反应釜中，加入1％-1.5％的诱导剂，加入表面活性剂，并使用盐酸、硝酸、磷酸、柠檬酸中的一种或几种调节pH值为3-6，添加电阻＞10兆欧的高纯水，使浆料固含量20-30％，加热反应，反应温度控制到180℃-230℃，反应时间6-8h，所得产物经分离干燥后，得到纳米级勃姆石；步骤二，纳米氧化铝制备，在该勃姆石中添加1％左右的纳米α相氧化铝作为晶种，添加0.5％-1.5％的矿化剂，在1050-1150℃煅烧4h，即可得到纳米氧化铝粉；步骤三，复合磨料制备：将上述纳米氧化铝粉在球磨机中研磨分散，加入1％-1.5％的六偏磷酸钠作为分散剂，研磨至纳米氧化铝完全分散，加入1％-1.5％的柠檬酸，持续研磨，形成氧化铝-柠檬酸悬浮液，控制该悬浮液温度为25-35℃，持续搅拌，缓慢加入硅酸盐，刚加入的硅酸分子会与氧化铝表面的氢离子形成偏硅酸，偏硅酸脱水缩合形成二氧化硅分子包覆在氧化铝颗粒的表面，将包覆好的复合颗粒500-550℃煅烧，即可得到氧化铝表面包覆氧化硅的复合磨料。
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百度查询： 青海圣诺光电科技有限公司 一种碳化硅衬底抛光用复合磨料的制备方法
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