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申请/专利权人:上海师范大学
摘要:本发明涉及一种正入射式反射光相位信息表征光路系统及方法,光路系统由光路a与光路b两部分光路组成,包括激光器、起偏器、偏振分束器、第一14波片、第一样品台、第二14波片、第二样品台、第三14波片、检偏器、衰减器、探测器。光束经过偏振分束器后分为光路a与光路b,分别经过14波片与样品平台后反射,之后两束光从新汇聚于偏振分束器。本光路系统可同时测量样品反射光的强度信息和相位信息,即可获取反射光谱的全方面信息,为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。
主权项:1.一种正入射式反射光相位信息表征光路系统,其特征在于,包括:光源发射器,用于发射光源;起偏器2,用于将所述光源发射器发射的光源形成偏振光;偏振分束器3,用于将所述偏振光分成两束光路:光路a与光路b;第一样品台5,设于所述光路a中,用于放置被测样品,所述第一样品台5与所述偏振分束器3之间设有第一14波片4;第二样品台7,设于所述光路b中,用于放置标准样件,所述第二样品台7与所述偏振分束器3之间设有第二14波片6;及反射光检测单元,使携带样品信息的测试反射光和参考反射光发生相干干涉,并通过探测光谱强度计算被测样品的相位信息;所述反射光检测单元包括依次设置的探测器11、衰减器10、检偏器9以及第三14波片8,所述光路a中被测样品的反射光以及所述光路b中标准样件的反射光经过所述偏振分束器3汇聚,汇聚后的两束光同时出射并依次经过所述第三14波片8及检偏器9,所述第三14波片8与检偏器9对光进行调制,之后再经过所述衰减器10,进入所述探测器11;一种正入射式反射光相位信息表征方法,采用所述光路系统进行测试,具体包括以下步骤:步骤1:背景测试,第一样品台5与第二样品台7同时放入标准样件,改变反射光检测单元中检偏器9的方位角,并测试对应的光强;步骤2:被测样品反射光测试,在第一样品台5上放置被测样品,第二样品台7仍放置标准样件,改变反射光检测单元中检偏器的方位角,并测试对应的光强;步骤3:计算被测样品的反射引起的光谱变化,其具体为步骤2测得的光强与步骤1测得光强的差值;步骤4:计算被测样品反射引起的相位变化;步骤1中所述检偏器9方位角分别为0度、45度、90度、135度时,测试对应的光强:I00、I01、I02、I03;步骤2中所述检偏器9方位角分别为0度、45度、90度、135度时测试对应的光强:I10、I11、I12、I13;步骤3中计算被测样品的反射引起的光谱变化I为:I0=I10-I00,I1=I11-I01,I2=I12-I02,I3=I13-I03;步骤4中计算被测样品反射引起的相位变化为:
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